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SEMI F20 - 用于通用、高纯和超高纯半导体制造组件的316L不锈钢棒材、锻材、挤压型材、板材和管材的规范 -
Abstract
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注意: 这个翻译是一个参考版本.如果您在使用上, 发现中文翻译版本与英文原文版本产生任何差异或是不确定之处, 请务必参考英文原文版本,并以英文原文版本为主,英文原文版本属于正式和权威的版本。
本规范的目的是定义用于制造通用、 高纯和超高纯化学(气體或液體)分配系统部件的316L 不锈钢的冶金洁净度要求和材料成分。
ASTM A276 재료 , 흑색 재료 및 재료 재료 , ASTM A240 재료 , ASTM A269 및 ASTM a632 管材 2 标准标准中316l 不锈 不锈 钢的 要求 要求 要求 要求 要求 要求 用 于生产半导体制造设备中 的 的通用 的组件和高纯化学 化学 化学 化学 化学 化学 化学 化学 化学 分配 分配分配。。。。。。
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F02000 - SEMI F20 - 用于通用、高纯和超高纯半导体制造组件的316L不锈钢棒材、锻材、挤压型材、板材和管材的规范
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