SEMI F19 - 스테인리스 스틸 부품의 젖은 표면의 표면 상태에 대한 사양 -

Abstract

이 표준은 Gases Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2015년 5월 19일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2015년 8월 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 원래 1995년에 출판되었습니다. 이전에 2010년 3월에 게시되었습니다.

이 사양의 목적은 반도체 제조 시설의 화학(기체 및 액체) 분배 시스템에 사용되는 스테인리스강 부품의 젖은 표면 품질에 대한 표준을 제공하는 것입니다.

이 사양은 SEMI F20에 따라 스테인리스 스틸로 제조되고 반도체 제조에 사용되는 가스 및 액체를 제어하거나 포함하도록 의도된 튜브 및 구성 요소에 대한 젖은 표면 특성화 요구 사항 및 마감 허용 기준을 정의합니다.

수행할 표면 특성화 테스트는 여기에 명시되어 있으며 이러한 테스트를 수행하기 위한 기존 표준을 참조합니다.

이 기술과 관련된 용어는 이 사양의 허용 기준과 관련하여 여기에 나열되거나 특정 테스트 방법과 관련하여 참조 문서에 정의됩니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI F20 — 범용, 고순도 및 초고순도 반도체 제조 응용 분야에 사용되는 부품용 316L 스테인리스 스틸 바, 단조품, 압출 성형품, 플레이트 및 튜브 사양
SEMI F37 — 가스 분배 시스템 구성요소의 표면 거칠기 매개변수 결정 방법
SEMI F60 — 부동태화 316L 스테인리스강 부품의 젖은 표면의 표면 조성에 대한 ESCA 평가를 위한 테스트 방법
SEMI F70 - 가스 전달 시스템의 입자 기여 결정을 위한 테스트 방법
SEMI F72 - 부동태화 316L 스테인리스강 부품의 젖은 표면의 산화물층에 대한 AES(Auger Electron Spectroscopy) 평가를 위한 테스트 방법
SEMI F73 - 스테인리스강 구성요소의 젖은 표면 상태에 대한 주사 전자 현미경(SEM) 평가를 위한 테스트 방법
SEMI F77 - 부식성 가스 시스템에 사용되는 합금 표면의 전기화학적 임계 공식 온도 테스트를 위한 테스트 방법

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