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SEMI F17 - 고순도 품질의 전해 연마된 316L 스테인리스 스틸 튜빙, 구성 요소 튜브 스터브 및 튜빙으로 만든 피팅에 대한 사양 -
Volume(s):
Facilities
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
이 사양은 Global Gases Committee에서 기술적으로 재승인되었으며 North American Gases Committee의 직접적인 책임입니다. 현재 버전은 2002년 10월 25일 북미 지역 표준 위원회에서 승인되었습니다. 처음에는 www.semi.org에서 2002년 12월에 제공되었습니다. 2003년 3월에 출판될 예정입니다. 원래 1995년에 출판되었습니다.
알림: 이 문서는 2004년에 투표를 거쳐 철회 승인을 받았습니다.
이 사양의 목적은 고순도 품질의 전해 연마된 316L 스테인리스 스틸 튜빙, 구성 요소 튜브 스터브 및 튜빙으로 만든 피팅에 대한 주문, 표면 상태 및 품질 보증 요구 사항을 정의하는 것입니다.
이 사양은 반도체 제조 시설의 고순도 화학(기체 또는 액체) 분배 시스템에 사용하기 위해 전해연마된 316L 스테인리스강 튜브, 구성 요소 튜브 스터브 및 튜브로 만든 피팅의 공칭 크기에 대한 특별 기준을 정의합니다.
참조된 SEMI 표준 SEMI F16 — 고순도 반도체 제조 응용 분야를 위해 마감 및 전해 연마되는 316L 스테인리스 강관 사양
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