SEMI F15 - 육불화황 추적 가스 및 가스 크로마토그래피를 사용한 인클로저 테스트 방법 -

Abstract

다운로드하지 마십시오. 이 표준의 기술적 내용은 SEMI S6로 이동되었습니다.

이 문서의 목적은 기술적 내용이 부록 2, SEMI S6의 추적 가스를 사용하여 비산 배출 결정을 위한 테스트 방법으로 대체되었음을 나타내는 SEMI F15에 대한 영구 철회 통지를 제공하는 것입니다.

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

SEMI F15 — 육불화황 추적 가스 및 가스 크로마토그래피를 사용한 인클로저 테스트 방법

SEMI S6 — 반도체 제조 장비의 배기 환기에 대한 EHS 가이드라인

개정 내역

SEMI F15-0308(1011 철회)

SEMI F15-0308(기술 개정)

SEMI F15-93(1104 재승인)

SEMI F15-93(재승인 0699)

SEMI F15-93(최초 공개)

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.