SEMI F14 - 가스 소스 장비 인클로저 설계 가이드 -

Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩242,000

Volume(s): Facilities
Language: English
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정: SEMI F14-93(0699 재승인) - 비활성

개정

Abstract

이 표준은 글로벌 시설 위원회에서 기술적으로 재승인되었으며 북미 시설 위원회의 직접적인 책임입니다. 1998년 12월 18일 북미 지역 표준 위원회에서 승인한 현재 버전. 1999년 2월 www.semi.org에서 처음 사용 가능. 1999년 6월에 출판될 예정입니다. 원래 1993년에 출판되었습니다.

§§ 3.1.1, 6.2.1 및 6.2.2에 대한 편집상의 변경이 있었습니다.

이 문서는 가스 소스 장비 엔클로저 설계 고려 사항을 요약합니다. 제조업체 및 구매자가 사용하기 위한 것입니다.

가스 소스 장비 인클로저와 관련된 설계 고려 사항이 여기에 설명되어 있습니다. 특정 가스, 실린더 또는 비정상적인 응용 분야(예: 공정 장비)를 수용하는 데 필요한 수정 사항은 다루지 않습니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI S4 — 캐비닛에 포함된 가스 실린더의 분리/분리에 대한 안전 지침

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