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SEMI E175 - 서브시스템 에너지 절약 모드 통신(SESMC) 사양 -
Abstract
이 표준은 정보 및 제어 글로벌 기술 위원회에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2016년 10월 17일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2016년 11월에 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다.
이 사양의 목적은 절전 모드 전환을 사용하여 에너지 절약 모드(에너지 소비율 감소) 작동을 가능하게 하기 위해 생산 장비와 하위 시스템 간의 통신을 정의하는 것입니다. 하위 시스템 상태를 관리하고 전달하는 수단은 생산 장비가 조정된 방식으로 하위 시스템 에너지 절약 모드 작동을 시작(및 종료)하도록 제공됩니다.
이 사양은 에너지 절약 모드 작동 또는 절전 수준 관리를 용이하게 하기 위해 생산 장비와 각 하위 시스템 간의 통신 및 동작을 정의합니다.
이 사양은 다음을 다룹니다.
- 상태 모델의 형태로 하위 시스템 에너지 절약 모드 작동을 정의합니다.
- 절전 수준을 통해 하위 시스템의 에너지 절약 모드 작동을 관리하는 통신입니다.
SEMI E167 — 장비 에너지 절약 모드 통신(EESM) 사양
SEMI S23 — 반도체 제조 장비에서 사용되는 에너지, 유틸리티 및 재료 절약을 위한 가이드
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