SEMI E172 - SEDD(SECS 장비 데이터 사전) 사양 -

Abstract

이 사양의 목적은 모든 생산 장비에 대한 SECS-II 인터페이스의 핵심 요소를 설명하는 데이터 세트의 형식과 내용을 정의하는 것입니다. 이것은 SEDD(SECS 장비 데이터 사전)라고 하는 일종의 문서입니다. 이것은 주로 장비 공급업체가 그러한 문서를 고객에게 제공하기 위한 수단으로 사용됩니다. 고객은 이 문서를 사용하여 생산 장비와 통신하는 공장 소프트웨어의 개발을 간소화해야 합니다.

 

이 사양은 전통적인 종이(또는 이와 동등한) 장비 인터페이스 문서의 필요성을 없애기 위한 것이 아닙니다. 이것은 해당 문서에 대한 보충 자료입니다.

 

SEDD는 SECS-II 인터페이스의 핵심 요소를 문서화하는 데이터 세트입니다. 이 데이터가 제공되는 형식은 사람과 소프트웨어 응용 프로그램 모두가 이해할 수 있도록 의도되었습니다.

　

참조된 SEMI 표준

SEMI E5 — SEMI 장비 통신 표준 2 메시지 내용(SECS-II) 사양
SEMI E30 — 제조 장비(GEM)의 통신 및 제어를 위한 일반 모델 사양
SEMI E40 — 공정 관리 표준
SEMI E90 — 기판 추적 사양
SEMI E125 — 장비 자체 설명(EqSD) 사양
SEMI E164 — EDA 공통 메타데이터 사양
SEMI E173 — XML SECS-II 메시지 표기법(SMN) 사양

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