SEMI E171 - PCL(Predictive Carrier Logistics) 사양 -

Abstract

이 표준은 정보 및 제어 글로벌 기술 위원회에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2016년 5월 11일 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2016년 9월 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 제공됩니다. 원래 2014년 9월에 출판되었습니다. 이전에 2016년 2월에 게시되었습니다.

이 표준의 목적은 반도체 제조 시스템 또는 이와 유사한 장비의 지속적인 처리를 위해 캐리어의 원활한 캐스케이딩을 지원하기 위해 장비와 공장 시스템 간의 캐리어 물류 관련 정보, 특히 예측 정보의 교환을 위한 통신 체계를 제공하는 것입니다.

이 표준의 목적은 공장 시스템과 더 나은 동기화를 용이하게 하기 위해 예측 운송업체 물류 정보를 교환하기 위해 장비에서 운송업체 물류 관리 상태를 나타내는 모델을 제공하는 것입니다.

이 표준은 장비에서 캐리어의 물류 관리를 나타내는 모델을 CLJ(Carrier Logistics Job)로 정의합니다. CLJ에는 다음과 같은 기능이 포함되어 있습니다.

• 운송 업체의 물류 관리 상태 관리
• 시간, 적재 포트 할당 등 예측 정보 변경 시 제출, 재제출, 철회 등 예측 관리
• 이동통신사 ID 할당
• 로드 포트 할당

이 표준은 장비의 여러 CLJ 관리를 CFJ(Carrier Flow Job)로 나타내는 모델을 정의합니다. CFJ에는 다음과 같은 기능이 포함되어 있습니다.

• 프로세스 오더별 CLJ의 오더 관리
• 운송사 물류 오더별 CLJ 예측 관리
• 통신사 스케줄링
• 하나의 로드 포트에서 여러 CLJ의 대기를 포함하는 로드 포트 스케줄링
• 내부 버퍼 장비에 대한 CLJ에 대한 로드 포트 중재

이 표준은 CLJ 및 CFJ 모델의 서비스 및 이벤트에 대한 사양을 다룹니다.

이 표준은 고정 버퍼 장비 및 내부 버퍼 장비 모두에 대한 PCL 사양을 다룹니다.

이 표준은 비슬롯 무결성 작업과의 호환성을 다룹니다.

하위 표준:

SEMI E171.1-0216 - 예측 운송업체 물류를 위한 SECS-II 프로토콜 사양

참조된 SEMI 표준

SEMI E15 — 공구 로드 포트 사양
SEMI E15.1 — 300mm 공구 로드 포트 사양
SEMI E30 — 제조 장비(GEM)의 통신 및 제어를 위한 일반 모델
SEMI E39 — 개체 서비스 표준: 개념, 동작 및 서비스(OSS)
SEMI E40 — 처리 관리 표준(PM)
SEMI E62 — 300mm FIMS(Front-Opening Interface Mechanical Standard) 사양
SEMI E84 — 향상된 캐리어 핸드오프 병렬 I/O 인터페이스 사양
SEMI E87 — 캐리어 관리(CMS) 사양
SEMI E94 — 제어 작업 관리(CJM) 사양

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