SEMI E170 - 안전한 레시피 관리 시스템(SFORMS) 기반 사양 -

Abstract

이 표준의 목적은 반도체 제조 시스템 또는 이와 유사한 RMS의 기반으로 사용되는 표준화된 'RMS(Recipe Management System)와 장비 간의 안전하고 안전하며 효율적인 레시피 작동 메커니즘'을 제공하는 것입니다.

이 표준의 목적은 특히 다음 개념으로 RMS를 지원하는 표준화된 'RMS와 장비 간의 안전하고 안전하며 효율적인 레시피 작동 메커니즘'을 제공하는 것입니다.

• 레시피 관리는 RMS(Single Point Of Recipe Management [SPORM] 개념)로 중앙 집중화됩니다.

• 레시피의 마스터 복사본 저장은 RMS(Recipe Server Centric 개념)의 Recipe Server에 중앙 집중화됩니다.

이 표준의 목적은 다음 측면에서 RMS를 지원하는 것입니다.

• 레시피 식별 기능 확장

• 용도별로 보호된 레시피 공간을 정의하여 권한 없는 접근으로부터 장비의 레시피 보호

• 캐시를 기반으로 자동화된 일관성 유지 메커니즘을 제공하여 Recipe Server의 레시피로 장비의 레시피 일관성을 유지하는 데 필요한 운영자의 노력 감소

• 선택적 Pre-Execution Check 메커니즘을 제공하여 Recipe Server가 있는 장비의 레시피 일관성 인증

• 캐시 기반 자동 전송 메커니즘을 제공하여 레시피 서버에서 장비로 생산에 사용되는 레시피를 다운로드하는 운영자의 노력 감소

• 캐시 연산을 채택하여 레시피 다운로드 관련 트랜잭션으로 인한 통신 및 계산 오버헤드 및 비용 감소

• 장비 또는 기타 워크스테이션에서 레시피 응용 프로그램(예: 레시피 편집기)을 사용하여 호스트 RMS의 레시피에 액세스할 수 있는 원격 액세스 기능 추가

이 표준의 목적은 더 쉬운 배포를 위해 다음 측면에서 현재 관행과 유사하거나 상위 집합을 지원하는 레시피 작동 메커니즘을 제공하는 것입니다.

• 레시피 식별 및 고유성 제어

• 레시피 연동

• 변수 매개변수 관리

• 실행 직전에 Recipe Server에 있는 레시피와 레시피의 일관성 확인(Pre-Execution Check)

• 사전 다운로드 모드 또는 전체 다운로드 모드와 같은 기존 레시피 다운로드 모드

이 표준은 RMS의 기반으로 사용하기 위한 안전하고 안전하며 효율적인 레시피 작동 메커니즘의 정의 및 사용을 다룹니다.

이 표준은 고유성 및 보안을 비롯한 여러 측면에서 레시피를 식별하는 확장된 레시피 식별 체계의 정의 및 사용을 다룹니다.

이 표준은 레시피 작업의 서로 다른 보안 수준에 대해 논리적으로 분리된 레시피 공간을 제공하기 위해 여러 레시피 공간을 관리하는 보안 레시피 공간 관리 메커니즘의 정의 및 사용을 다룹니다.

이 표준은 장비가 대량 생산에 사용되고 있는지 여부를 나타내는 장비 상태 플래그의 정의 및 사용을 다룹니다.

이 표준은 호스트에서 생산 실행을 위한 안전하고 안전하며 효율적인 레시피 작동을 가능하게 하는 호스트에서 장비로 레시피 공급 메커니즘의 정의 및 사용을 다룹니다.

이 표준은 PRC(생산 레시피 캐시)라는 새로운 레시피 공간의 정의를 장비의 안전한 레시피 공간 중 하나로 정의합니다. 이 공간은 레시피가 호스트와 동기화되고 무단으로 수정되지 않도록 보호되는 호스트 제어 프로세스 실행 전용입니다. 운영.

이 표준은 PRC의 레시피가 권한이 없는 액세스로부터 보호되고 호스트의 레시피 서버에 있는 레시피와 일치하도록 PRC를 관리하는 메커니즘 및 작업의 정의를 다룹니다.

이 표준은 장비 또는 다른 워크스테이션의 레시피 응용 프로그램을 사용하여 RMS의 레시피 서버에 있는 레시피에 대한 원격 액세스를 가능하게 하는 원격 액세스 작업 메커니즘의 정의 및 사용을 다룹니다.

하위 표준:

SEMI E170.1-0520 - 레시피 관리 시스템의 보안 기반을 위한 SECS-II 프로토콜 사양

참조된 SEMI 표준

SEMI E30 — 제조 장비(GEM)의 통신 및 제어를 위한 일반 모델 사양

SEMI E39 — 개체 서비스 표준 사양: 개념, 동작 및 서비스

SEMI E40 — 공정 관리 표준

SEMI E87 — 캐리어 관리(CMS) 사양

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