SEMI E169 - 장비 정보 시스템 보안 가이드 -

Abstract

이 표준은 정보 및 제어 글로벌 기술 위원회에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2015년 2월 10일 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2015년 6월 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 원래 2014년 4월에 출판되었습니다.

컴퓨터 바이러스에 의한 정보 파괴, 정보 유출로 인한 기밀 침해, 서비스 거부로 인한 정보 가용성 제한 등의 사건이 전 세계적으로 매일 보고되고 있습니다. 반도체 제조 장비 정보 시스템도 이러한 위협에 노출됩니다.

이에 따라 반도체 제조 장비에 대한 보안 조치는 불가피한 요구 사항이 되었습니다.

다음과 같은 반도체 제조 장비의 보안에 대한 요구 사항이 있습니다.

• 장비 성능에 해를 끼치지 않는 맬웨어(바이러스) 보호
• 장비 운영 효율성을 저하시키지 않는 레시피의 기밀 보호
• 기밀 보안을 손상시키지 않고 문제 해결을 위한 장비 작동 로그 파일 가용성
• 기밀성 보안을 손상시키지 않으면서 사용자를 위한 장비 설계 정보 가용성

개별 장비 사용자의 반도체 제조 라인 관리 계획에 따라 보안 조치가 조정됩니다. 장비 사용자와 공급업체 간의 장비 정보 시스템에 대한 보안 정책 협상은 고객마다 다르기 때문에 비효율적입니다. 또한 이러한 거래의 견고성과 지속 가능성은 입증되지 않았습니다. 반도체 제조 장비에 대한 정보 보안 지침이 필요합니다.

이 표준의 목적은 장비 정보 시스템 보안에 대한 공통 기반을 설정하는 것입니다. 이는 반도체 제조 장비의 사용자와 공급업체 간에 공유되어 정보 보안의 개념과 조치를 제안할 수 있습니다.

이 표준은 다음을 기대합니다.

• 비용, 배송 및 안정성을 최적화하기 위해 장비에 적절한 보안 조치를 적용하는 지침을 제공합니다.
• 공장에서 장비의 역할과 책임에 대한 지식을 제공하여 사용자 보안 시스템의 설계를 보다 쉽고 견고하게 만듭니다.
• 업계의 요구 사항과 평가 방법을 표현하고 업계 내에서 일관된 이해를 얻을 수 있는 공통 언어를 제공합니다.
• 이식 가능하고 상호 운용 가능한 구현을 제공하기 위해 개방형 표준을 홍보하십시오.

도메인

이 표준은 반도체 제조 장비 작동 영역을 다룹니다.

도메인에는 다음이 포함됩니다.

• 장비와 상호 작용하는 엔티티(사람, 프로세스, 시스템)
• 장비 작동의 데이터 객체
• 장비 내부에 내장된 정보 시스템 구성 요소

장비 도메인 외부의 엔터티(예: 공장 또는 회사)는 해당 엔터티가 장비 정보 보안과 관련된 경우에만 처리됩니다.

과목

이 표준은 장비 운영과 관련된 정보 보안을 위한 지침 작성 시 다음과 같은 주제를 다룹니다.

• 정보 보안의 목표(기밀성, 무결성, 가용성)
• 확보 대상 자산(장비 정보 자산)
• 설비정보시스템에서 지원해야 할 역할
• 중요한 보안 요구 사항(예: 맬웨어 보호, 네트워크에 대한 불법 액세스 보호, 로컬 작업, 하드웨어, 구성 요소 폐기 등)

참조된 SEMI 표준

SEMI E5 — SEMI 장비 통신 표준 2 메시지 내용(SECS-II)
SEMI E30 — 제조 장비(GEM)의 통신 및 제어를 위한 일반 모델
SEMI E37 — 고속 SECS 메시지 서비스(HSMS)
SEMI E40 — 공정 관리 표준
SEMI E87 — 캐리어 관리 사양
SEMI E90 — 기판 추적 사양
SEMI E94 — 제어 작업 관리 사양
SEMI E116 — 장비 성능 추적 사양
SEMI E120 — 공통 장비 모델(CEM) 사양
SEMI E125 — EQSD(장비 자체 설명) 사양
SEMI E132 — 장비 클라이언트 인증 및 승인 사양
SEMI E134 — 데이터 수집 관리 사양
SEMI E139 - 레시피 및 매개변수 관리(RaP) 사양
SEMI E147 - EDA(장비 데이터 수집) 가이드
SEMI E148 — TS-Clock 개체의 시간 동기화 및 정의에 대한 사양
SEMI E157 — 모듈 프로세스 추적 사양

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