SEMI E168 - 제품 시간 측정 사양 -

Abstract

이 표준은 Metrics Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2014년 8월 25일 글로벌 감사 및 검토 소위원회에서 출판 승인을 받았습니다. 2015년 9월 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 원래 2014년 1월에 출판되었고 이전에는 2014년 11월에 출판되었습니다.

알림: SEMI E168의 지정은 SEMI E168.2 및 SEMI E168.3의 생성을 반영하기 위해 0915 게시 주기 동안 업데이트되었습니다.

이 사양의 목적은 공장 내 제품 수명 주기에서 제품 시간 낭비를 식별하고 제거하는 데 있어 반도체 산업을 지원하는 것입니다. 사양은 제품 시간 측정(PTM)에 대한 접근 방식을 설명하며, 균일하게 적용되는 경우 한 생산 라인에서 다른 생산 라인과 비교할 수 있는 결과 생성을 지원합니다.

이 사양은 공장에서 시간 동안 제품 단위에 대한 제품 시간 낭비의 감지 및 감소를 지원하기 위해 공장 데이터를 구성하고 전처리하는 방법을 정의합니다.

이 방법은 사용자 지정 기간을 가져와 연속 시간 세그먼트로 나누고 각 시간 세그먼트를 활성 또는 대기 시간 유형으로 분류합니다.

공장 이벤트 및 컨텍스트 데이터는 시간 세그먼트를 기술하는 데 사용됩니다. PTM의 출력은 분석 가능한 데이터 세트입니다. 특정 제품 시간 낭비를 식별하기 위한 데이터 분석 절차는 이 사양에서 제외됩니다.

이 사양은 제품 단위의 공장 수명 주기에서 제품 시간 낭비를 식별하고 제거하여 주기 시간 단축을 지원하기 위해 데이터를 수집하고 결합하는 일반적인 접근 방식을 정의합니다. 다양한 유형의 공장(예: 웨이퍼 팹, 평면 패널 디스플레이 공장) 및 공장 내의 다양한 측면(예: 생산 장비, 자동화된 자재 취급 시스템)을 포함하여 다양한 영역에 적용될 수 있도록 일반적인 방식으로 정의됩니다. AMHS]).

PTM은 개별 기판 수준 또는 로트 수준에서 적용될 수 있습니다.

종속 문서:

SEMI E168.1-1114 - GEM 300 생산 장비의 제품 시간 측정 사양

SEMI E168.2-0915 - 재료 관리 시스템의 제품 시간 측정 사양

SEMI E168.3-0915 - 운송을 위한 제품 시간 측정 사양

 

참조된 SEMI 표준

SEMI E5 — SEMI 장비 통신 표준 2 메시지 내용(SECS-II)
SEMI E30 — 제조 장비(GEM)의 통신 및 제어를 위한 일반 모델
SEMI E40 — 공정 관리 표준
SEMI E87 — 캐리어 관리(CMS) 사양
SEMI E90 — 기판 추적 사양
SEMI E94 — 제어 작업 관리 사양
SEMI E148 — TS-Clock 개체의 시간 동기화 및 정의에 대한 사양
SEMI E151 — 데이터 품질 이해를 위한 가이드
SEMI E157 — 모듈 프로세스 추적 사양
SEMI E160 — 데이터 품질 통신 사양
SEMI E164 — EDA 공통 메타데이터 사양

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