SEMI E167 - 장비 에너지 절약 모드 통신(EESM) 사양 -

Name: E16700 - SEMI E167 - 장비 에너지 절약 모드 통신(EESM) 사양
Brand: semi.org
SKU: 3782
Price: 242000.0 KRW
Availability: InStock

Member Price: ₩113

Non-Member Price: ₩242,000

Volume(s): Equipment Automation Software
Language: English
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정:

SEMI E167-1213 - 현재

품목 옵션

Abstract

이 표준은 정보 및 제어 글로벌 기술 위원회에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 판은 2013년 8월 22일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2013년 12월에 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다.

이 사양의 목적은 생산 장비의 에너지 소비율 감소를 촉진하기 위한 메시징 및 동작을 정의하는 것입니다. 장비 에너지 절약 모드를 시작(및 종료)하기 위해 공장 시스템(호스트)에 대한 메커니즘이 제공됩니다.

이 표준은 생산 장비의 에너지 소비를 줄이기 위해 호스트와 생산 장비 간의 메시지 서비스 및 동작을 정의합니다.

이 표준은 다음을 다루고 있습니다.

장비 에너지 절약 모드 정의 상태 모델 형태의 통신 동작

장비 에너지 절약 모드 통신을 관리하는 데 필요한 통신을 위한 메시지 서비스 및 콘텐츠 사양

종속 문서:

SEMI E167.1-1213 - 장비 에너지 절약 모드 통신을 위한 SECS-II 프로토콜 사양

참조된 SEMI 표준

SEMI E5 — SEMI 장비 통신 표준 2 메시지 내용(SECS-II)
SEMI E30 — 제조 장비(GEM)의 통신 및 제어를 위한 일반 모델
SEMI S23 — 반도체 제조 장비에서 사용되는 에너지, 유틸리티 및 재료 절약을 위한 가이드

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