SEMI E166 - 450mm 클러스터 모듈 인터페이스 사양: 기계적 인터페이스 및 전송 표준 -

Abstract

이 표준의 목적은 450mm용 클러스터 도구를 구성하는 운송 모듈과 프로세스 모듈 사이에 필요한 최소 수준의 물리적 연결을 보장하는 것입니다. 두 모듈이 모두 이 표준의 요구 사항을 충족한다면 최소한의 설계 변경으로 프로세스 모듈을 모든 클러스터 도구의 전송 모듈에 연결할 수 있습니다.

 

프로세스 모듈은 모듈마다 크게 다를 수 있는 위치에서 웨이퍼를 받아들입니다. 이는 클러스터 도구의 다양한 공정 모듈에서 웨이퍼를 이동하는 운송 모듈의 기능에 부담을 줍니다. 이 사양은 모듈 내의 웨이퍼 운송 평면을 정의합니다. 이는 웨이퍼 이송 문제를 상당 부분 제거하지만 프로세스 모듈 내용을 과도하게 제한하지는 않습니다.

이 표준은 클러스터 도구에서 모듈 간의 인터페이스 평면을 정의합니다. 함께 연결될 전송 모듈과 프로세스 모듈 사이의 인터페이스에서 기계적 사양을 제공합니다. 모듈 콘텐츠에 요구 사항이 부과되지 않습니다.

 

이 표준은 다음을 제외하고 직경이 450mm인 웨이퍼와 클러스터 도구 모듈 간의 인터페이스에만 적용됩니다. 전송 모듈은 인터페이스 평면에서 작동합니다. 따라서 프로세스 모듈 내에서 웨이퍼 이송 평면의 정의가 필요합니다.

 

참조된 SEMI 표준

SEMI E21 — 클러스터 툴 모듈 인터페이스 사양: 기계적 인터페이스 및 웨이퍼 이송

SEMI E21.1 — 클러스터 도구 모듈 인터페이스 300mm 사양: 기계적 인터페이스 및 웨이퍼 이송

SEMI E154 — 450mm 로드 포트의 기계적 기능 사양

 

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.