SEMI E166 - 450 mm크라스타모쥬르・인타페스의 사양 -

Abstract

免責事項： このSEMIstandadeは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡

반 スタンダード スタンダード 日本語 スタンダード 版 を ご ご 利用 にあたって にあたって の の 注釈 を 本文 本文 の 末尾 に 記載 記載 し て おり ます ます ます ます 「す べき べき である である」 「し なければなら ない」について 等。。。。。

 

실제 인터페이스 및 캐리어 글로벌 기술 위원회(Physical Interfaces & Carriers Global Technical Committee) で技術的に承認されている.現版は2014年6月17日， global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2014年8月にwww. semiviews.orgおよびwww.semi.org 에서 2013년 5 월 발간.

　

本standadの目的は, 450 mmのクラスタツールからなる搬送モジュールとプロセスモジュール間の必要最小レベルの物理接続性を保証する ことである両方のモジュールが本stanダードの要件を満たしているかぎり，프로세스모쥬르は最小限の設計変更で任意のクラスタツールの搬送モジュールに接続できるようになることが期待される.

　

プロセスモジュールがウェーハを受け取る位置は，相手のモジュールにより大きく変化する。このことが，クラスタツールにおいて搬送모쥬르が各種모쥬르間にウェーハを動かす能力に，大きな負担をかけている。本仕様は，모쥬르内のウェーハ搬送面を，定義するものである。これにより，前述のウェーハ搬送の問題を大幅に軽減する ことができるが，それでいてモジュールの内容を過度に制限しない.

　

本standardは, クラスタツールのモジュール間のintaferos面について，定義する。本standardは互いに結合できるような搬送모쥬르나 프로스모쥬르間のintaferesに対する機械的な仕様を提供するが，모쥬르の内容については，どんな要求を強制するものではない.

　

本standared は，直径450mm의 웨하하 およびクラスターツールモジュールの間のintafeーsにのみ適用される。例外として搬送모쥬르は，인타페면스を越えて操作されるがゆえにprosesmojurk内のウェーハ搬送面の定義が必要그렇지.

　

참조된 SEMI 표준

SEMI E21 — 클러스터 도구 모듈 인터페이스: 기계 인터페이스 및 웨이퍼 운송 표준
SEMI E21.1 — 클러스터 도구 모듈 인터페이스 300mm: 기계적 인터페이스 및 웨이퍼 운송 표준
SEMI E154 — 450mm 로드 포트에 대한 기계적 인터페이스 사양

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