SEMI E154 - 450mm 로드포트 전용 메카니칼 인타페스 사양 -

Abstract

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반 スタンダード スタンダード 日本語 スタンダード 版 を ご ご 利用 にあたって にあたって の の 注釈 を 本文 本文 の 末尾 に 記載 記載 し て おり ます ます ます ます 「す べき べき である である」 「し なければなら ない」について 等。。。。。

本仕様の目的は,450mm용 FOUP および450mm용 MACのロードおよびANROーDOを行う半導体製造装置(SME)におけるロードポートの基本的な寸法のintaferースを定義することである.本書の意図は,革新的なソ龍ーションを限定する ことなくロードポートとキャリアの相互運用性を確保する ための一連の要求および機能を定義するものである.

本書のintaferes仕様は，関連する450mm FOUP および450mm MAC의 SEMIstandadeーに準拠するCariaによって決定され，mata，Cariaに適合するように作成されている。

ロードおよび アンロードは，何らかのsystemmataは装置（人が運転する搬送車mataは高架ホイスト車など）を使って半自動およびautomode で行われることを想定している。

참조된 SEMI 표준

SEMI E63 — 공구 표준(BOLTS-M) 인터페이스에 대한 300mm 박스 오프너/로더 사양
SEMI E110 - 300mm 로드 포트에 대한 로드 포트 작동 인터페이스의 표시기 배치 영역 및 스위치 배치 볼륨에 대한 지침
SEMI E158 — 450mm 웨이퍼(450 FOUP) 및 키네마틱 커플링을 운송 및 보관하는 데 사용되는 Fab 웨이퍼 캐리어의 기계적 사양

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