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SEMI E153 - AMHS SEM 사양(AMHS SEM) -
Abstract
本standardは， 글로벌정보통제 위원회で技術的に承認されている。現版は2010年1月20日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2010年2月にwww.semi. org 로 入手可能となる.初版は2009年11月に発行された.
本standaredはAMHSの個別装置modelel（SEM ）を確立するものである（AMHS SEM ）。modelは装置特性 および作で構成されており，それらはSEMI E30の基本要求および追加選択性能と共に実装される予定である.本standadeの趣旨は自動化された（半導体製造など）工場へのAMHS SEM準拠の搬送装置の統合を容易にする ことである.本文書では工場自動化コントローラ（호스트）에서 AMHS SEM準拠の搬送装置の運用 MODELを定義して趣旨を実現している。 ここでは標準化されたhostintaferes および搬送装置の運用動作(kontrolor,状態モ)デル，データ報告，報告レベルなど）が定義されている。本standadの範疇の課題のいくつかに関しては今後も活動を続ける必要がある.その課題와 はtrafick管理特性(퀴잉)，캐리아移載のためのpararelintaferes(SEMI E84)，搬送保管시스템 콘트로라아키테크챠，および搬送単位の配送などである.
本standadeの範囲は（ § 11に規定してある）GEMmodelに準拠する SEMI装置通信standard2 (SECS-II )によってホストが認識する，搬送matataは保管matataは搬送と保管の両方の組合せをsaportousous 材料搬送保管装置の使用法および説明に限定されている。本スタンダードはSECS通信rinkを通じて装置がどのように見えるかを定義しているが，装置の内部 オ ペレーションは定義していない。 ここには このクラスの装置すべての基準として個別TRANSFER코만드状態모델 および搬送保管시스템콘트로라(TSSC )状態모델が含まれている.
本文書では（ §11に規定されている）GEM基本要求および追加選択性能はAMHS SEM準拠の搬送装置にすでに実装されているものとみなす.ここでは状態모델 모델), 収集 イベント, アラームドキュント, リモート コマンド, 変数 データアイテム, および材料搬送の領域で GEMstandade 要求 および性能が拡張されている。
참조된 SEMI 표준
SEMI E5 — SEMI 장비 통신 표준 2 메시지 내용(SECS-II)
SEMI E30 — 제조 장비(GEM)의 통신 및 제어를 위한 일반 모델
SEMI E37 — 고속 SECS 메시지 서비스(HSMS) 일반 서비스
SEMI E84 — 향상된 캐리어 핸드오프 병렬 I/O 인터페이스 사양
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