SEMI E151 - データ品質を理解するためのguide -

Name: E151 - SEMI E151 - データ品質を理解するためのguide
Brand: semi.org
SKU: 8127
Price: 286000.0 KRW
Availability: InStock

Member Price: ₩135

Non-Member Price: ₩286,000

Volume(s): Equipment Automation Software
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정:

SEMI E151-0309 - 대체됨

품목 옵션

Abstract

本standaredは，글로벌정보통제 위원회で技術的に承認されている。現版は2009年1月2日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2009年2月にwww.semi. org 에서는 2009년 3 월에 CD-ROM을 사용하여 가능합니다.

本gaidの目的は，半導体装置が生成したデーターの品質に取り組む場合に使用できる共通の用語と定義を提供することである。これは，製造装置が生成するデータの品質を規定し，伝達し，処理し，議論することを支援する一連の共通の定義を確立する.

本gaidは以下の項目を持つ.

データ品質とそれに関連する用語を理解するための取り組みについての背景と説明.

참조된 SEMI 표준

SEMI E5 — SEMI 장비 통신 표준 2 메시지 내용(SECS-II)
SEMI E54 - 센서/액추에이터 네트워크 표준
SEMI E120 — 공통 장비 모델(CEM) 사양

SEMI E125 — 장비 자체 설명(EqSD) 사양
SEMI E132 — 장비 클라이언트 인증 및 승인 사양
SEMI E134 — 데이터 수집 관리(DCM) 사양

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