SEMI E147 - 装置データ取得(EDA) 관련 가이드 -

Abstract

本standardは，글로벌정보통제 위원회で技術的に承認されている。現版は2006年11月21日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2007年2月にwww.semi. org 에서는 2007년 3 월에 CD-ROM을 사용하여 가능합니다.

E本文書는 2007년 9월에，誤字を訂正するため，編集上の修正がなされた。変更箇所は，§6 로.

　

本gaid文書は，一連の装置データ取得（EDA）SEMIstandaーdodに関して追加の情報を提供し，これら規格間の関係を説明し，EDA仕様の適切な適用を確実にするために実装の基本コンセプトを提示수。

　

範囲内

本gaidは, 装置engineering データを収集するためのEDAintaーfeicesに関するSEMIの規定を実装する半導体製造装置に適用する ことがきる.

　

本gaidは以下について記述する。

• EDAIntaーfeicesの概要

EDAInta-feicesを形成するstandardの概要

EDAInta-feicesstandad間の関係

EDA 스탄다드의 종합，実装についてのgaid

　

외부에서

本gaidstandardは装置外のsystem間のinta-feicesについて何も記述,定義しない.

참조된 SEMI 표준

SEMI E5 — SEMI 장비 통신 표준 2 메시지 내용(SECS-II)

SEMI E30 — 제조 장비(GEM)의 통신 및 제어를 위한 일반 모델
SEMI E39 — 개체 서비스 표준: 개념, 동작 및 서비스
SEMI E40 — 공정 관리 표준
SEMI E87 — 캐리어 관리(CMS) 사양
SEMI E90 — 기판 추적 사양
SEMI E94 — 제어 작업 관리 사양
SEMI E116 — 장비 성능 추적(EPT) 사양
SEMI E120 — 공통 장비 모델(CEM) 사양
SEMI E125 — 장비 자체 설명(EqSD) 사양

SEMI E132 — 장비 클라이언트 인증 및 승인 사양
SEMI E134 — 데이터 수집 관리(DCM) 사양
SEMI E138 — XML 반도체 공통 구성 요소

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