SEMI E137 - 半導体製造装置の最終組立，梱包，輸送，開梱，크리린룸の製造領域への移送のためのgaid -

Name: E13700 - SEMI E137 - 半導体製造装置の最終組立，梱包，輸送，開梱，크리린룸の製造領域への移送のためのgaid
Brand: semi.org
SKU: 8114
Price: 288000.0 KRW
Availability: InStock

Member Price: ₩135

Non-Member Price: ₩288,000

Volume(s): Equipment Automation Hardware
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정:

SEMI E137-0705(재승인 1111) - 대체됨

품목 옵션

Abstract

本standared는, global Gases Technical Committee で技術的に承認されている。現版は2011年9月12日， global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2011年11月にwww.semiviews.orgおよびwww.semi.orgで入手可能となる.初版は2004年11月発行。前版は2005年6月発行。

注意: 本文書は，編集上の修正を伴い，再承認された。

注意：「注」の表題のついた段落は，本文書の公式な一部ではなく，matataその内容の変更や書き換えを意図したものではない。

本文書の目的は，半導体製造装置(SME )に関し，sapraiyy施設における最終組立と梱包，輸送，ユーザのcriーンrumーの製造領域への移送と開梱に特有な活動のための標準gaidlineを確立することである。

참조된 SEMI 표준

SEMI C41 — 2-프로판올에 대한 사양 및 지침

SEMI E49.2 - 반도체 공정 장비의 초순수 및 액체 화학 시스템에 사용되는 폴리머 어셈블리의 적격성 평가 지침

SEMI F63 — 반도체 공정에 사용되는 초순수 가이드

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