SEMI E136 - 반도체 처리 장비 RF 전력 공급 시스템에 사용되는 RF 발생기의 출력 전력 결정을 위한 테스트 방법 -

Abstract

알림: 이 표준은 2021년에 완전히 재작성되었습니다.

이 테스트 방법의 목적은 반도체 공정 장비의 RF 전력 전달 시스템에 사용되는 무선 주파수(RF) 발생기의 출력 전력을 측정하기 위한 정확한 방법을 제공하는 것입니다.

이 테스트 방법은 SEMI E113을 준수하기 위해 선호되는 RF 전력 측정 방법이라고 합니다.

이 테스트 방법은 RF 발생기의 실제 RF 출력 전력(예: 가열 전력)을 결정하는 데 필요한 테스트 절차 및 테스트 장비를 지정합니다.

이 테스트 방법은 참조 표준으로 정확한 저주파 대체 기술을 사용하여 이전에 보정된 열량 측정 파워 미터를 사용합니다.

이 테스트 방법은 또한 열량계를 사용하여 보정되는 전송 센서 와 전송 센서를 사용하여 보정되는 작동 센서의 사용을 설명합니다.

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

SEMI C41 — 2-프로판올 사양 및 가이드

SEMI E113 — 반도체 처리 장비 RF 전력 공급 시스템 사양

개정 내역

SEMI E136-1104(재승인 0518)

SEMI E136-1104(재승인 0512)

SEMI E136-1104(최초 발행)

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