SEMI E135 - 半導体処理装置の高周波(RF) 電力供給Systemの過渡応答を決定實定用的RF発振器のtest方法 -

Name: E13500 - SEMI E135 - 半導体処理装置の高周波(RF) 電力供給Systemの過渡応答を決定實定用的RF発振器のtest方法
Brand: semi.org
SKU: 8112
Price: 286000.0 KRW
Availability: InStock

Member Price: ₩135

Non-Member Price: ₩286,000

Volume(s): Equipment Automation Hardware
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정:

SEMI E135-0704(0512 재승인) - 대체됨

품목 옵션

Abstract

本standared는, global Metrics Technical Committee で技術的に承認されている。現版は2011年12 月24日， global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2012年5月にwww.semiviews.orgおよびwww.semi.orgで入手可能となる。初版は2004年7月発行。

注意: 本文書は，編集上の修正を伴い，再承認された。

本文書の目的は，半導体処理装置の高周波（RF ）力供給電systemに使われるRF発振器の過渡応答を決定する test方法を定義し， SEMI E113をsaポートすることである.

本文書では,公称50Ωの負荷で動作するRF発振器の過渡応答を,電力を要求した時点から(RFイネーブル信号等) RF出力信号が起動あるいは停止するまでの遅延時間も含め，設定値レベルの変化の関数として決定するために必要なtest手順およびtest装置を指定する.

本文書の主な対象は，次の装置を含み，かつそれらに限定されない半導体処理装置である.

드라이엣팅장

膜堆積装置( CVDtoPVD )

참조된 SEMI 표준

SEMI E113 — 반도체 처리 장비 RF 전력 공급 시스템 사양

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