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SEMI E134 - 데이터 수집 관리 사양 -
Abstract
이 사양은 데이터 수집 EDA 애플리케이션이 장비에 의해 자동화된 방식으로 또는 EDA 애플리케이션의 임시 요청으로 통신될 장비의 프로세스 및 데이터를 요청하는 방법을 설명합니다. 여기에는 많은 수의 데이터 소스를 보다 간단하게 활성화 또는 비활성화하고 EDA 애플리케이션이 목적에 따라 관련 데이터를 그룹으로 구성할 수 있도록 관련 데이터를 그룹으로 구성하는 메커니즘이 포함되어 있습니다.
이 사양은 명명된 데이터 수집 계획을 사용하여 반도체 장비에서 이벤트, 예외 및 추적 데이터를 수집하는 수단을 제공합니다. 이 사양은 데이터 수집 계획이 어떤 형식을 취하는지, 그 내용의 의미 및 이를 관리하기 위한 장비에서 지원해야 하는 인터페이스를 정의합니다.
이 사양은 유한 상태 기계의 형태로 데이터 수집 계획의 실행과 관련된 동작을 정의합니다. 데이터 수집 계획을 실행한 결과 생성된 데이터의 형식도 정의되며, 데이터 수집 계획 출력의 EDA 애플리케이션에서 지원해야 하는 인터페이스도 정의됩니다.
이 사양은 데이터 수집을 포함하여 장비에 대한 활동의 조합으로 인해 장비가 공급업체가 정의한 기준 미만으로 수행될 때 장비가 사용자에게 알리는 방법을 정의합니다.
이 사양은 사용자가 데이터 수집 계획 외부에서 장비의 데이터에 대한 임시 주문형 요청을 만드는 방법을 정의합니다.
하위 표준(포함)
SEMI E134.1-0414 — 데이터 수집 관리(DCM)의 SOAP 바인딩 사양
SEMI E134.2-1022 — 데이터 수집 관리의 프로토콜 버퍼 사양
참조 SEMI 표준 (별도 구매)
SEMI E5 — SEMI 장비 통신 표준 2 메시지 내용(SECS-II) 사양
SEMI E30 — 제조 장비(GEM)의 통신 및 제어를 위한 일반 모델 사양
SEMI E39 — 개체 서비스 사양: 개념, 동작 및 서비스
SEMI E40 — 처리 관리 사양
SEMI E94 — 제어 작업 관리 사양
SEMI E120 — 공통 장비 모델(CEM) 사양
SEMI E125 — 장비 자체 설명(EqSD) 사양
SEMI E132 — 장비 클라이언트 인증 및 승인 사양
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