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SEMI E134 - 데이터 수집 관리 사양 -
Abstract
본 표준 은 Information & Control Global Technical Committee 에서 기술 검증 을 받았고, 본 버전은 Global Audits and Reviews Subcommittee 에 의해 2013 년 6 월 4 일 간행 되었음을 밝혔습니다 . 2013 년 4 월 이후 www.semiviews.org 와 www.semi.org에서 열람 가능하다; 2004년 7월 초본 간행 ; 2013년 3월 이전 버전 간행 .
본 표준 은 데이터 수집을 목적으로 사용자의 ad-hoc 요청 으로 전달하거나, 장비에서 비롯된 방식으로 장비에서 장비 프로세스 및 중단 데이터를 요청하는 방식(method)을 설명한다. 메모의 데이터 소스(데이터 소스)를 활성화(활성화) 또는 비활성화(비활성화)하는 방식을 보기 쉽게 하기 위해 관련 데이터를 그룹화하는 공간과 , 소비자 가 각각의 목적에 따라 관련 데이터를 그룹화하는 충전을 포함 .
본 표준은 특정 데이터 수집 계획 을 이용하여 반도체로부터 이벤트 (event), 예외 사항 (exception) 및 트레이스 데이터 (Trace Data) 를 실행하는 수단을 제공한다. 또한 데이터 수집 계획이 어떤 형태로든, 그 내용이 나중에 의미와 장비에서 지원되는 데이터가 어떤 외부로 관리되는 배터리를 정의한다.
본 표준은 제한된 상태 의 머신에서 데이터 수집 계획에 대한 실행과 정지 동작 (동작) 을 정의한다 . 데이터 수집 계획의 결과로 생성된 데이터의 회수 또한 데이터 수집 계획 출력 값을 사용할 때 지원되는 형태로 정의된다.
본 표준은 데이터 수집 을 포함하여 장비 상의 유니폼 의 활동(활동) 이 장비 가 정의한 기준 하위로 작업이 수행되는 경우 이를 소비자에게 알리는 방법을 정의한다.
본 표준은 데이터 수집 계획 에 따른 장비에서 간헐적으로 요청 데이터에 대한 방법도 정의한다 .
참조된 SEMI 표준 SEMI E30 — 제조 장비(GEM)의 통신 및 제어를 위한 일반 모델
SEMI E40 — 공정 관리 표준
SEMI E94 — 제어 작업 관리 사양
SEMI E120.1 — 공통 장비 모델에 대한 XML 스키마
SEMI E121 — 반도체 제조 애플리케이션을 위한 XML의 스타일 및 사용에 대한 가이드
SEMI E125 — 장비 자체 설명(EqSD) 사양
SEMI E125.1 — 장비 자체 설명의 SOAP 구현 사양
SEMI E128 — XML 메시징 사양
SEMI E132.1 — 장비 클라이언트 인증 및 권한 부여의 SOAP 구현 사양
SEMI E138 — XML 반도체 공통 구성 요소
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