Abstract

本standaredは， 글로벌 정보통제 위원회 で技術的に承認されている。現版は2010年4月30日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 2010年6 月にwww.semi. org で入手可能となる.初版は2004年7 月発行，前版は2010 年3 月に発行された.

本仕様では，装置によって自動化された方法あるいは消費者によって特に要求された方法により，データ取得消費者がprosesdeーtaや操作データを装置と通信する方法について説明する。それには，関連データをグループに整理することにより多数のデータソースをより直接的に有効にしたり，無効にして，消費者がその目的に従っ関連データをグループに整理 できるための仕組みが含まれる.

종속 문서:

SEMI E134.1-0710 - データ収集管理( DCM )의 SOAP 바인딩에 적용할 수 있는 방법

참조된 SEMI 표준

SEMI E30 — 제조 장비(GEM)의 통신 및 제어를 위한 일반 모델
SEMI E40 — 공정 관리 표준
SEMI E94 — 제어 작업 관리 사양
SEMI E120.1 — 공통 장비 모델에 대한 XML 스키마
SEMI E121 — 반도체 제조 애플리케이션을 위한 XML의 스타일 및 사용에 대한 가이드
SEMI E125 — 장비 자체 설명(EqSD) 사양
SEMI E125.1 — 장비 자체 설명의 SOAP 구현 사양
SEMI E128 – XML 메시징 사양
SEMI E132.1 — 장비 클라이언트 인증 및 권한 부여의 SOAP 구현 사양
SEMI E138 — XML 반도체 공통 구성요소

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.