SEMI E133 - 자동 공정 제어 시스템 인터페이스 사양 -

Abstract

이 표준은 정보 및 제어 글로벌 기술 위원회에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2018년 8월 17일 글로벌 감사 및 검토 소위원회에서 출판 승인을 받았습니다. 원래 2004년 3월에 출판되었습니다. 이전에 2018년 3월에 게시되었습니다.

R2R(run-to-run) 제어, 오류 감지(FD), 오류 분류(FC), 오류 예측(FP), 통계 프로세스 제어(SPC)와 같은 프로세스 제어 시스템(PCS)의 통합을 보다 효율적으로 촉진하기 위해 ) 등을 현재 및 미래의 팹에 통합하려면 PCS가 효과적으로 상호 작용하고 (1) 자체적으로 데이터를 공유하고 (2) 다른 상호 의존적인 공장 시스템(장비 데이터 수집 포함)과 데이터를 공유할 수 있도록 PCS용 인터페이스를 정의할 필요가 있습니다. 이 표준은 향후 개발 제품에서 PCS 표준을 활용할 장비 공급업체, 반도체 제조업체, 장비 하위 시스템 공급업체 및 제어 시스템 공급업체가 사용하기 위한 것입니다.

범위

이 표준은 PCS 기능, 기능 그룹(FG) 및 FG 인터페이스를 정의하는 데 중점을 둡니다. 표준은 향후 투표를 통해 새로운 FG가 표준에 추가될 수 있도록 구성되어 있습니다. 이 문서의 구성요소는 다음과 같습니다.

• 이 도메인과 관련된 주요 용어 및 개념의 정의,

• 사용된 사양 규칙에 대한 설명,

• PCS 범위 내 주요 FG 식별,

• 각 FG에서 예상되는 기능에 대한 설명(필수 및 선택 사항) 및

• 다음을 포함하여 이러한 FG에 대한 인터페이스 정의:

• 이러한 인터페이스에서 사용할 수 있는 데이터. 여기에는 인터페이스 데이터 설명(입력 및 출력)이 포함됩니다. 이 사양에 대한 향후 개선 사항에는 모든 PCS FG에 공통적인 상속 및 집계 모델 형태의 상세한 데이터 구조와 각 FG에 대한 특정 모델이 포함됩니다.

• 지원되는 서비스 및 가정된 인터페이스 동작 및

• 규정 준수 검증 테스트에 대한 접근 방식에 대한 설명.

특정 기술인 이러한 인터페이스 사양의 특정 형식 및 프로토콜 구현은 이 표준에 대한 '점' 사양을 지원하는 데 설명됩니다. 예를 들어 가능한 형식은 XML(eXtensible Markup Language)(데이터 유형 정의 및 메타모델 스키마 포함)입니다.

이 표준에 포함된 정보 외에도 표준은 가능한 한 빨리 실제 구현 문제를 식별하고 해결하기 위한 검증 프로세스를 설명합니다.

하위 표준:

SEMI E133.1-0318 - 프로세스 제어 시스템(PCS)용 XML 메시징 사양

참조된 SEMI 표준

SEMI E81 — CIM 프레임워크 도메인 아키텍처에 대한 임시 사양
SEMI E121 — 반도체 제조 애플리케이션을 위한 XML의 스타일 및 사용에 대한 가이드
SEMI E125 — 장비 자체 설명(EqSD) 사양
SEMI E134 — 데이터 수집 관리 사양
SEMI E148 — TS-Clock 개체의 시간 동기화 및 정의에 대한 사양

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