SEMI E131 - Bolts-M을 사용하는 300mm 도구에 대한 통합 측정 모듈(IMM)의 물리적 인터페이스 사양 -

Abstract

알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성화 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.

이 문서는 SEMI E63(BOLTS-M)에서 정의한 인터페이스를 사용하여 통합 측정 모듈(IMM)과 300mm 도구 사이의 인터페이스 요구 사항에 대한 사양을 설정합니다.

이 표준은 도구 공급업체, 로봇 공학 공급업체 및 측정 모듈 공급업체가 기계적 수준에서 플러그 앤 플레이 통합 측정 솔루션을 제공할 수 있도록 허용합니다.

이 표준의 목적은 측정 데이터에 대한 빠른 액세스를 통해 프로세스 모니터링을 용이하게 하고, 프로세스와 측정 장비 간의 자재 취급을 줄이고, 처리량 감소를 최소화하거나 전혀 하지 않고 프로세스 모니터링을 향상할 수 있는 기회를 제공하는 것입니다.

이 표준은 모든 기계적 인터페이스에서 모듈성과 상호 운용성을 보장하면서 혁신에 대한 최소한의 제한을 두는 적절한 수준의 사양을 설정하기 위한 것입니다. 기존 SEMI 표준을 최대한 활용하면서 BOLTS-M 인터페이스를 사용하는 300mm 프로세스 도구를 위한 측정 모듈의 통합을 위한 기계적 인터페이스 사양을 설정합니다.

이 표준은 SEMI E63이 인터페이스의 도구 측에 활용되도록 지정합니다.

SEMI E1.9 — 300mm 웨이퍼를 운반하고 보관하는 데 사용되는 카세트의 기계적 사양

SEMI E15 — 공구 로드 포트 사양

SEMI E15.1 — 300mm 공구 로드 포트 사양

SEMI E47.1 — 300mm 웨이퍼를 운송하고 보관하는 데 사용되는 박스 및 포드의 기계적 사양

SEMI E57 — 300mm 캐리어를 정렬하고 지지하는 데 사용되는 키네마틱 커플링의 기계적 사양

SEMI E63 — 공구 표준(BOLTS-M) 인터페이스에 대한 300mm 박스 오프너/로더의 기계적 사양

SEMI E64 — SEMI E15.1 도킹 인터페이스 포트에 대한 300mm 카트 사양

SEMI E127 — 통합 측정 모듈 통신 사양: IMMC(개념, 동작 및 서비스)

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