SEMI E130 - 300mm 환경용 프로버 특정 장비 모델 사양(PSEM300) -

Abstract

알림: SEMI E130의 지정은 SEMI E130.1의 개정판을 반영하기 위해 0618 게시 주기 동안 업데이트되었습니다.

　

이 문서는 300mm 표준(PSEM300)에 대한 글로벌 공동 지침을 준수하는 공장에 배치된 프로버 장비에 대한 프로버 특정 장비 모델을 설정합니다. PSEM300은 이 등급의 장비에 적용되고 구현해야 하는 장비 특성 및 동작으로 구성됩니다. 이 문서의 목적은 프로버 장비를 자동화된 반도체 공장에 쉽게 통합하는 것입니다. 이 문서는 호스트에서 볼 수 있는 프로버 장비의 작동 모델을 정의하여 이를 수행합니다. 이 정의는 표준 호스트 인터페이스 및 장비 작동 동작을 제공합니다.

 

PSEM300은 SEMI E30(GEM)의 일반 프로세스 상태 모델을 프로버 장비용 특정 프로세스 상태 모델로 확장합니다. 이 표준은 프로토콜 독립을 시도합니다. SEMI E30(GEM)의 프로토콜 의존적 측면을 대체하려는 시도는 없습니다. 대신, 이 문서는 관련 300mm 표준의 개념 및 동작 내에서 다루지 않는 특정 장비 기능이 SEMI E30 내에서 정의된 개념 및 동작을 사용하여 지원될 것이라고 가정합니다. SEMI E30 조항에 대한 설명은 § 9를 참조하십시오.

　

이 문서는 장비 기능의 전체 세트를 정의하려고 시도하지 않습니다. 이 문서에 명시된 요구 사항 외에도 부가 가치 기능이 추가로 제공될 것임을 이해합니다.

　

이 문서는 기판 내의 위치에 대한 호스트 지시 인덱싱 및 기판의 로딩/언로딩을 의도합니다. 테스터와 프로버 장비 간의 GPIB 또는 RS-232C와 같은 통신을 통한 자동화된 자체 인덱싱은 이 사양의 범위를 벗어나지만 배제되지는 않습니다. 관련 정보 섹션을 참조하십시오.

　

이 문서는 알람/잠재적 알람(경고) 상황에서 복구하기 위한 예외 복구 또는 수동 작업에 대해 많이 설명하지 않습니다. 이러한 조건은 일반적으로 구성에 따라 다릅니다.

　

이 표준은 개념과 동작에서 메시징 서비스에 이르는 솔루션을 제시합니다. 메시징 프로토콜을 정의하지 않습니다.

 

하위 표준:
SEMI E130.1-1104(재승인 0618) - 300mm 환경용 프로버 특정 장비 모델용 SECS-II 프로토콜 사양(PSEM300)

　

참조된 SEMI 표준

SEMI E5 — SEMI 장비 통신 표준 2 메시지 내용(SECS II) 사양
SEMI E30 — 제조 장비(GEM)의 통신 및 제어를 위한 일반 모델 사양
SEMI E40 — 공정 관리 표준
SEMI E42 — 레시피 관리 표준: 개념, 동작 및 메시지 서비스
SEMI E87 — 캐리어 관리(CMS) 사양
SEMI E90 — 기판 추적 사양
SEMI E94 — 제어 작업 관리 사양
SEMI G81 — 지도 데이터 항목 사양
SEMI G85 — 지도 데이터 형식 사양
SEMI M20 — 웨이퍼 좌표계 설정을 위한 사양

SEMI M21 — 데카르트 배열의 직사각형 요소에 주소를 할당하기 위한 사양

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