SEMI E127 - 装置組込み計測モジュール通信の仕様：概念，挙動，서비스（IMMC） -

Abstract

本standaredは，글로벌정보통제 위원회で技術的に承認されている。現版は2007年12月20日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2008年2月にwww.semi. org로，そして2008年3月にCD-ROMで入手可能となる。初版は2003年7月発行，前版は2007年11月に発行された。

装置組込み計測

装置組込み計測(測定や検査)の目的は，即座に測定データを取得し，Proses装置와 計測装置間の材料の搬送を減らし，술ーputtの低下を最小限，matataは皆無にする ことによりprosesmonitaringの機会を増やすことになる装置内部のprosesmonitaringの便宜を図ることである.mata，装置組込み計測では，先進proses制御systemはこの測定結果の利用により，短いfi-dbackc clock時間の遅れを実現する.

装置組込み計測モジュール通信（ IMMC ）の仕様

IMMC의 정의는 다음과 같습니다.装置組込み計測モジュールと制御ポート／データポートとの間の標準的なintaフェースもOBJECTO BEースで示すことである。 このintafeースにより特定のOBJECTOのPROPARTITOSERVISにアクセスできるようになる.これにより，모쥬르를をより大きな시스템に組み込む際の労力が低減できる.

本standad の も う ひ と つ の 目 的 は ， マルチモジュール装置 に組み込 だ と し て て も 計 測 モジュ ー や 装 置 の ソ フ ト we ア の 変 更 を し な く も 良 いような， IMMC準拠の装置組込み計測モジュールのonlinesurbistointaferesを一緒にした文書を通じて，必要な分の情報を示すことである。これには計測モジュールのsapriyyに任されているある種の選択事項に関する構成変更を，엔드유자がユーザintaferos上で行うことが必要となる可能性がある。

本文書の範囲

装置組込み計測モジュール通信の仕様は，大口径基板の処理を前提とした生産装置に組込み可能な様に，測定あるいは検査モジュールが提供する概念，挙動，サービスをカバーする。ただし，小口径基板の製造への適用を制限するものではない.

종속 문서:

SEMI E127.1-0308 - 装置組み込み計測モジュール通信のSECS- IIprotocor仕様（IMMC ）

참조된 SEMI 표준

SEMI E5 — SEMI 장비 통신 표준 2 메시지 내용(SECS-II)
SEMI E30 — 제조 장비(GEM)의 통신 및 제어를 위한 일반 모델
SEMI E30.5 — 계측 특정 장비 모델(MSEM) 사양
SEMI E32 — 자재 이동 관리(MMM)
SEMI E39 — 개체 서비스 표준: 개념, 동작 및 서비스
SEMI E39.1 — 개체 서비스 표준(OSS)용 SECS-II 프로토콜
SEMI E40 — 공정 관리 표준
SEMI E41 — 예외 관리(EM) 표준
SEMI E42 — 레시피 관리 표준: 개념, 동작 및 메시지 서비스
SEMI E53 — 이벤트 보고
SEMI E58 — ARAMS(Automated Reliability, Availability, and Maintenanceability Standard): 개념, 동작 및 서비스
SEMI E90 — 기판 추적 사양
SEMI E90.1 — SECS-II 프로토콜 기판 추적을 위한 임시 사양
SEMI E98 — 개체 기반 장비 모델(OBEM)에 대한 임시 표준
SEMI E116 — 장비 성능 추적을 위한 임시 사양
SEMI E120 — 공통 장비 모델(CEM)에 대한 임시 사양
SEMI E148 — 시계 개체의 시간 동기화 및 정의에 대한 사양
SEMI M20 — 웨이퍼 좌표계 설정을 위한 사양

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