SEMI E126 - 装置品質情報파라메타(EQIP)에 가능한 사양 -

Abstract

알림: 이 번역본은 참조용 사본입니다. 영어 버전과 다른 언어로 된 번역본 사이에 차이가 있는 경우 영어 버전이 공식적이고 권위 있는 버전입니다.

免責事項：このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡

반 スタンダード スタンダード 日本語 スタンダード 版 を ご ご 利用 にあたって にあたって の の 注釈 を 本文 本文 の 末尾 に 記載 記載 し て おり ます ます ます ます 「す べき べき である である」 「し なければなら ない」について 等。。。。。

 

本standanardは， 글로벌정보통제 위원회で技術的に承認されている。現版は2008年5月13日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2008年6月にwww.semi. org에서는 初版は2003年7月発行，前版は2008年3月に発行された。

　

本standadudeでは，装置prosesnotypeやgluーphに関する主要な装置品質情報parameter(EQIP)を抽出する。抽出の目的は，pros制御の能力を装置のユーザやsaプライヤが指定したり，利用し易いように支援することにある.

　

本standardは, newtaな装置prosesのtypeや本standardの既存の装置prosesのtypedeEQIPが発見される度に，更新可能な様に設計されている.

　

想定読者

—本standadeは, prosescontrorparame-taを操作する際に, 標準化されta方法を使用して, 規定された方法を使用して, 規定された方法を使用して, 規定された方質파라메타に関して装置controー르야프로세스콘트로르를 실현하는 OEM(機器製造者),ユーザ, サードパーティの装置와 プロセスのコントロールシステムサプライヤを対象とする.

 

本standade の 範囲 は, 特定 の 装置 プロses の type の 主要な EQIPを 特 定する こと に限 られる. その 中 で は プロses グラム の 設 定可 能 な Parameter 中 で， ここで言 う EQIPに影響するものが最低１つは含まれるlistを装置は示さなければならない.ならびにSEMIstandadeで許される方法を使用してこれらのparameteraそれぞれ個別に操作で きなければならないことが案内される.本standadeは，すべての品質파라메타を特定する ことは意図しない.完全に装置 太形を指定する ことも意図していない.

　

예えば, この操作能力を支援し可能にする 通信proto コルあるいは，装置やホストのmodelは定義しない。

　

本standaードは，追加に関して業界の合意が得られれば，装置typeに対応するEQIPを既存のものに追加できる構成となっている。さらに，このスタンダードで これまで記載されていなかった新たな装置についてEQIPを定義する ことも可能になっている.standardへの追加は， SEMIstandard의 投票prosesによって行われる。

참조된 SEMI 표준

SEMI E5 — SEMI 장비 통신 표준 2 메시지 내용(SECS-II)
SEMI E30 — 제조 장비(GEM)의 통신 및 제어를 위한 일반 모델
SEMI E40 — 공정 관리 표준

SEMI E94 — 제어 작업 관리 사양
SEMI E98 — 개체 기반 장비 모델(OBEM)에 대한 임시 표준

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