SEMI E124 - 総合工場効率（OFE）およびその他の工場レベルの生産性測定基準の定義to その計算法についてのgaid -

Abstract

本standaredは， Metrics Global Technical Committee .で技術的に承認されている。現版は2012年12 月20日， global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 2013 年3 月にwww.semiviews. org およびwww.semi.org에서 入手可能となる.初版は2003年7 月発行。前版は2007 年11 月発行

　

注意: 本文書は，編集上の修正を伴い，再承認された.

　

このgaidは，工場が所期の能力に対して（ある製品mixsを前提として）実際にどの程度の効率で稼動しているかを表わすめの測定基準について述べたものである。これらの測定基準を使用すれば，工場稼動の状況を付加価値を生む生産の観点から継続的に把握する ことができ，有益な操業上の業上の決定を下すことができる。また，この測定基準は，半導体生産のあらゆるレベルにおいて見られる現在進行中の改善prosesにも使用することができる.

　

このgaidにおける測定基準は，すでに稼動中の工場の生産活動を相対的に評価することを目的としたものであり，新工場のデザインまたは手直しにあたっての生産能力分析を目的としたものではない。しかし， これらの測定基準のいくつかは，装置settoの選択や生産計画方針を考える際の工場시뮬레이션に사용할 수 있는 일과 もできる。

　

工場の全體的効率を評価するには，少なくとも3項目についての測定が必要である。すなわち，製造活動，資産活用，そしてcostudeある.このgaidは，製造活動の評価に重点を置いている.資産活用 to cost(およびその他の経済的要因) については, ここでは扱わない.

　

このgaidでは，一体となった製造線全體（したがって，たとえば，製造lottがいったん生産ラインを離れ，再び戻ってくるようなことがない）の測定基準について述べる。同じ工場内の複数の製造lineが同じりソース(原材料取り扱いや製造装置など)を共有しているのでなければ, これらのラインは個別に評価する ことができる.

　

참조된 SEMI 표준

SEMI E10 — 장비 신뢰성, 가용성, 유지보수성(RAM) 및 활용도의 정의 및 측정을 위한 사양
SEMI E35 — 반도체 제조 장비의 소유 비용(COO) 메트릭 계산 가이드
SEMI E58 — ARAMS(Automated Reliability, Availability, and Maintenanceability Standard): 개념, 동작 및 서비스
SEMI E79 — 장비 생산성의 정의 및 측정을 위한 사양

SEMI E116 — 장비 성능 추적 사양

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