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SEMI E120 - 共通装置model(CEM)의 仕様 -
Abstract
本standardは，글로벌정보통제 위원회で技術的に承認されている。現版は2009年12月16日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2010年2月にwww.semi. orgで入手可能となる.初版は2003年3月発行，前版は2008年11月に発行された.
本仕様の目的は，半導体製造装置の構成 および関連要素の汎用의 오브제크트모데르を提供する ことであるこのOBJECTORMODELは，次の方法使用 でれることを意図したものである。装置の外部見
- ーを工場ホストにどのように見せるかを示す装置sapraidyヤへのgaidとして
- 他のSEMI装置通信standardが使用し，拡張する際の基本的なmodelとして
本仕様は，装置me-ca-が装置構成 および関連要素をmodeル化する際に使用される構造に共通なものの一揃えを提供する.
本仕様は，利用可能な通信intaferesを介して工場hostapriqueーションが見る際の装置構造のmodelに適したクras，属性，関係，その他の詳細事項を定義する。
本仕様に含まれるmodelは装置の構造の特性を表すが，（現在および将来に渡って）複数の装置通信standardに必要になると考えられる.
종속 문서:
SEMI E120.1-0310 - 共通装置model(CEM ) notumenoXML스키마
참조된 SEMI 표준
SEMI E121 — 반도체 제조 애플리케이션을 위한 XML의 스타일 및 사용에 대한 가이드
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