SEMI E119 - 300mm 웨하노 공방 전광판 작업복스(FOBIT) 노광기 -

Abstract

本版は2011年12 月24日， global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2012年5月にwww. semiviews.org 는 www.semi.org 에서 2002년 11월 행진을 할 수 있습니다.

　

注意: 本文書は，編集上の修正を伴い，再承認された.

　

本standardは， 300 mmwe-hana-工場間輸送用狭pitchifrontop-ningboxes( FOBIT:공장 간 운송을 위한 전면 개방 상자)について部分的に規定する。weーーを25枚収納できるが，物理容積が13枚weーハのFOUP와 ほぼ同じであるこの狭ピッチのボックスは, IC生産工場間のウェーハ輸送costを低減する ことを目的とする.業界の現在の300mm技術を活用用するために, この狭ピッチのfrontop-ningboxesは, SEMI E62로 확인 가능합니다.

　

本standardが意図しているのは，すべてのメカニカルインタフェースにおいて，모쥬르성토互換性を確保しながら，技術革新を妨げないよう最小レベルの仕様を定める ことである。 FOBITに対する메카니카루인타페스だけが規定されており，材料に対する要求事項やparteycrunaどの汚染限度は示されていない。しかしながら，金属製や射出成型prastick製のFOBITの両方がstaンダードに準拠して製造できるように，本standダードは作成されている。

　

本standardは， FOBIT が工場間のウェーハ輸送に使用されることを前提とする。

• ウェーハ間のピッチを小さくするとウェーハ輸送costが低減される.
• FOBIT 는 処理済 および未処理の両方のウェーハノ工場間輸送에 使用される.
• 복스의 容量はウェーハ25枚である.

에지그립 핸드링 데바이스를 사용하기 위해 사용하는 웨이하하의 랜담아크세스는, 본스탄다드의 要求事項로 할 수 없습니다.

FOBIT 는 다음 300mm 의 스탄다드와 더 나은 성능이 가능합니다.

13 장 웨하노 FIMS 인타페스( SEMI E62 )

300mm 로드 포트 ( SEMI E15.1 )

키네마틱카프링( SEMI E57 )

FOBIT은, 輸送中의 웨하노 制約条件 および製品의 Aprication에 により, 必ずしも次의 300 mmstandard 에 従う必要는 없습니다.

300 mm 프론트오프닝유니파이드폿드( FOUP ) ( SEMI E47.1 )

300 mm 오픈카셋트( SEMI E1.9 )

300 mm 프론트오프닝십핑박스( FOSB ) ( SEMI M31 )

本standadeの技術的要求事項は, SEMI M1.15で規定される公称厚さのウェーハの輸送について記述された。

이 피치노 容量25枚のFOBITは， SEMI E62 로 規定されている13枚ウェーハのFIMS 인타페스로 사용하기위해 사레루ように設計される.

참조된 SEMI 표준

SEMI E1.9 — 300mm 웨이퍼를 운반하고 보관하는 데 사용되는 카세트의 기계적 사양
SEMI E15 — 공구 로드 포트 사양
SEMI E15.1 — 300mm 공구 로드 포트 사양
SEMI E47.1 — 300mm 웨이퍼를 운송하고 보관하는 데 사용되는 박스 및 포드의 기계적 사양
SEMI E57 — 300mm 웨이퍼 캐리어를 정렬하고 지지하는 데 사용되는 키네마틱 커플링의 기계적 사양
SEMI E62 — 300mm FIMS(Front-Opening Interface Mechanical Standard) 사양
SEMI M1 — 연마된 단결정 실리콘 웨이퍼 사양
SEMI M31 — 300mm 웨이퍼 운송 및 배송에 사용되는 전면 개방 배송 상자의 기계적 사양
SEMI S8 — 반도체 제조 장비의 인체공학 엔지니어링을 위한 안전 가이드라인

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