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SEMI E118 - 웨하르다통신인타페스의 仕様 — 웨하르다노노보 스탄다드: 概念，動作，서비스 -
Abstract
本仕様は，글로벌 정보관리위원회において技術的に承認されたものであり，일본정보관리위원회が直接責任を負うものである。現版は2002年7月19日に일본지역표준위원회にて承認されている。 2002年10月にまずwww.semi.orgで入手可能になり, 2002年11月発行に至る。
E本standard 는 2005 년 2월에 R2-1 을 지원하는 編集上の修正が加えられた｡
참고: SEMI E118 은 2004년 11월에 사브드큐 먼트SEMI E118.1 이 업데이트되었습니다.
we-hardrididaの機能standardの目的は，概念，動作，We-HIDrididayによって上位のcontro-raに提供されるサーbis ( 機能)について共通の仕様を提供する ことである.
standadeのintaferースにより，ユーザー及び装置sapraidiヤが広範囲の選択肢を持てるように， weーHAIDriーdaの相互交換を向上させる。
We-Hidridida의 機能standardは, we-HIDRI-DA와上位의 콘트로라와 包括의 intaferes에 対する 機能要求条件を扱う.
本仕様 に は， we ハIDRI DA に 必 要 な 動作 と 必 要 な 通信機 能 が 含 まれる.
この仕様では，weーハIDRIーダによって送信される 非同期メッセージは要件でもなく，定義することも禁止する こともしない。
本仕様は， SEMI によっ て規定され，we-hana의 搬入，搬出がカリアユnittによって実行される装置内でアクセスされるweーハみを読出すことを目그렇죠.
하위 표준:
SEMI E118.1-1104 - 웨이하이드리다통신인타페스스탄다드의 SECS-I ,SECS-II 프로트코르仕様
참조된 SEMI 표준 SEMI E4 — SEMI 장비 통신 표준 1 메시지 전송(SECS-I) SEMI E87 — 캐리어 관리(CMS) 사양
SEMI E5 — SEMI 장비 통신 표준 2 메시지 내용(SECS-II)
SEMI E15 — 공구 로드 포트 사양
SEMI E30 — 제조 장비(GEM)의 통신 및 제어를 위한 일반 모델
SEMI E39 — 개체 서비스 표준: 개념, 동작 및 서비스
SEMI E47.1 — 300mm 웨이퍼를 운송 및 보관하는 데 사용되는 박스 및 포드에 대한 임시 기계적 사양
SEMI E62 — 300mm FIMS(Front-Opening Interface Mechanical Standard)에 대한 임시 사양
SEMI E90 — 기판 추적 사양
SEMI E99 — 캐리어 ID 리더/라이터 기능 표준: 개념, 동작 및 서비스 사양
SEMI E101 — EFEM 기능 구조 모델에 대한 임시 가이드
SEMI T7 — 2차원 매트릭스 코드 기호를 사용한 양면 연마 웨이퍼의 후면 마킹 사양
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