SEMI E117 - 레치크루로드포트 사양 -

Abstract

本standanardは， global Physical Interfaces and Carriers Committee で技術的に承認されている。現版は2010年4月30日， global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 2010 年6 月にwww.semi .org 에서는 2002년 11 월 행, 이전은 2004년 11 월 행.

 

この仕様は，レチクルストカー，리소그라피 露光機器，レチクル検査装置のレチクルロードポートの寸法の要求条件およびoptionを定義する。装置と工場間の物理Intaferesの共通化を促進し，自動化されたRSP 搬送systemを使いやすくし，手動ロード装置の人間工学的要求条件を満taすことを目的とする.

참조된 SEMI 표준

SEMI E15 — 공구 로드 포트 사양
SEMI E15.1 — 300mm 공구 로드 포트 사양
SEMI E19.3 — 표준 기계 인터페이스(SMIF), 150mm(6인치) 포트 사양
SEMI E19.4 - 200mm SMIF(표준 기계 인터페이스)
SEMI E72 — 300mm 장비 설치 공간, 높이 및 무게에 대한 사양 및 가이드
SEMI E100 — 6인치 또는 230mm 레티클을 운반 및 보관하는 데 사용되는 레티클 SMIF 포드(RSP) 사양
SEMI E111 — 6인치 레티클을 운반 및 보관하는 데 사용되는 150mm 레티클 SMIF 포드(RSP150)의 기계적 사양
SEMI E112 — 6인치 레티클을 운반 및 보관하는 데 사용되는 150mm 다중 레티클 SMIF 포드(MRSP150)의 기계적 사양

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