SEMI E109 - レチクルおよびポdd管理に関する仕様(RPMS) -

Abstract

本仕様は，글로벌정보 통제위원회で技術的に承認されたもので，북미정보통제위원회が直接責任を負うものである.현재는 2004年12月10日にNorth American Regional Standards Committeeにて承認されている。2005年2月にまずwww.semi.orgで入手可能になり，2005年3月発行に至る。初版は2001年7月に発行。前版は2004年11月発行。

　

本文書はリソグラフィ装置，レチクル検査装置，およびベベびベびベアレチクルストッカー装置のstandad化された挙動を規定する。risografi装置，レチクル検査装置，およびベアレチクルストカー装置とのスタンダード化された通信も規定する。これには装置間での自動 およびマ뉴알레치크루폿드搬送，레치크루폿드へ／からのレチクル搬送，装置内でのレチクルの移動，레치크루폿드およびレチクル双方の識別および検証，レチクルの検査 および認証，およびレチクル使用度のトラッckingなどその他の関連情報，以上の調整，実行，および完了などが含まれる.

　

本文書はレチクルを扱う装置でのhost・装置間通信に関する暫定standadeである。装置にはレチクルポッドの内外でレチクルを扱う装置だけが含まれる.

　

本文書の範囲は自動 およびマニュアルのレチクルポッド搬送，レチクルポッドへ／からのレチクル搬送，装置内でのレチクルの移動，ReticleIDの識別およよ検証，レチクルの検査 および認証，およびレチクル使用度の트락킹についてホ스트が情報を得てその役割を果taすのを容易にするようなスタンダードを定義することである.具體的にいうと，本文書では下記に関するホストと装置の相互作用を定義する状態model およびsinarioを規定している：

• AMHSビークルと，製造装置，베아레치크루스톡카，およびレチクル検査装置レチクルロードポートの間でのレチクルポッド搬送。

• リソグラフィ装置内部のレチクルライブラリスペースへの／からのレチクル搬送.

• 装置およびレチクルロードポート아크세스모드の切り替え

• レチクルポッド와 ロードポート와 の関連付け.

• レチクルポッドIDの検証 およびレチクルポddslottmapの検証.

종속 문서:

SEMI E109.1-0704 - 레치크루 およびPOD 관리(RPMS )를 지원하는 SEC-II 프로토콜의 구성

 

참조된 SEMI 표준

SEMI E5 — SEMI 장비 통신 표준 2 메시지 내용(SECS-II)

SEMI E15 — 공구 로드 포트 사양
SEMI E30 — SEMI 장비(GEM)의 통신 및 제어를 위한 일반 모델
SEMI E39 — 개체 서비스 표준: 개념, 동작 및 서비스
SEMI E39.1 — 개체 서비스 표준(OSS)용 SECS-II 프로토콜
SEMI E41 — 예외 관리(EM) 표준
SEMI E53 — 이벤트 보고
SEMI E84 — 향상된 캐리어 핸드오프 병렬 I/O 인터페이스 사양
SEMI E99 — 캐리어 ID 읽기/쓰기 기능 표준
SEMI E100 — 6인치 또는 230mm 레티클을 운반 및 보관하는 데 사용되는 레티클 SMIF 포드(RSP) 사양

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