SEMI E107 - 전력 관리 시스템에 전력을 공급하지 않는 데 이터를 유지하기 위한 데이터 포매트 -

Abstract

알림: 이 번역본은 참조용 사본입니다. 영어 버전과 다른 언어로 된 번역본 사이에 차이가 있는 경우 영어 버전이 공식적이고 권위 있는 버전입니다.

免責事項：このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡

반 スタンダード スタンダード 日本語 スタンダード 版 を ご ご 利用 にあたって にあたって の の 注釈 を 本文 本文 の 末尾 に 記載 記載 し て おり ます ます ます ます 「す べき べき である である」 「し なければなら ない」について 等。。。。。

 

本standaredは, Information & Control Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2010年5月21日，Global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2010年6月にwww.semi .org 에서는 2001년 3 월 행, 이전에는 2001 년 11 월 행을 할 수 있습니다.

　

알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.

　

本文書の目的は，test装置から歩留り留り管理 시스템に，特定のデータタを渡statumeのフォーmattの標準化である。歩留り管理管理systemは，de-tasuraの一種であり，ベアウェーハやパターン付きウェーハの欠陥データを管理するsystemである.

　

本文書では歩留mari管理systemeにおいて，試験装置の電気的故障情報が総合し管理，分析されるものと考えている試験装置の故障情報の例として， bittmapde-ta，binde-ta およびwe-har検査装置やレviewー装置などの装置で得た検査情報を含む。ことになる.

　

本文書は，test装置から歩留り留理管理systeme に渡sta ためのデータファイルフォーマットを規定する。

　

本書書はマップデータアイテムスタンダードSEMI G81와 現在開発中であるマップデータフォーマットドキュmentの拡張である.

　

本文書の範囲はデータアイテムおよびそそれらのフォーmattだけを定義している。データファイル生成方法，環境の構築，ファイル名の付け方等は，本文書の範囲外である。さらに，データを転送する 코뮤니케이션프로트콜も本文書の範囲外である.

참조된 SEMI 표준

SEMI E5 — SEMI 장비 통신 표준 2 메시지 내용(SECS-II)
SEMI E30.1 — 특정 장비 모델 검사 및 검토(ISEM)
SEMI G81 — 지도 데이터 항목 사양
SEMI G85 — 지도 데이터 형식 사양

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