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SEMI E102 - CIM 후레임워크 재료 가공・강화 콘포넨트에 가능한 확정 설계 -
Abstract
本暫定使用は，글로벌정보통제 위원회で技術的に承認されている。現版はglobal Audits and Reviews Subcommittee で2006年5月16日に発行が承認された。 2006年6にwww.semi. org 로, 2006 년 7 월에 CD-ROM 으로 , 2000 년 6 월에 발매될 수 있습니다.
半導体製造工場では，스톡카格納および工程間搬送に高い基本性能が必要である。 この基本性能に加えて，300 mmwe-haccarianosizeが大きくなったことおよびその重量が増大したことで必要となった人間工学的および安全要求事項を考慮すると，工程内搬送が必要となる。製造装置へ，mata製造装置からの材料搬送の完auto化動を経済的に実現するため，これらストッカ，工程間搬送および工程内搬送systemは，お互いに，そしてmata，その工場の"製造管理system( MES ) " to完全に統合する必要がある.
Automatic MateriarhandringSystem( AMHS )装置の基本的要求事項は，工場MEStoの効率的な統合である.そのため，本standardの目的は，図1に示しているとりお，相互運用性を持つAMHS 시스템을 経済的に統合できるようにする ことである.me- カーは, AMHS統合systemsの目に見える動作 および工場 MES와 のintaferesを規定する SEMIstandimedを求ている.本standadeの目的は，これラインタフェース およびCIMFレームWORKの一部としてMEStoAMHSSystem間の連係を規定する ことである. AMHS말하자면 言葉はAutomotive Materiarhandringをsaportatsuru装置およびsystemmを幅広く指すものとして一般的に使われているが, CIMFレームWorkは, AMHS性能一揃いに対するMES의 스탄다드 인타페스를 表スマテリアル搬送・格納コンポーネント(MTSC )와 呼ぶソフトウェアコンポーーネントを規定する.
本standadard は，(他のCIMFremeworkkonpo-nentude代表される)工場Tomateriaartracking・格納conpō-nent間での実行時の相互連係に対して，製造管理 시스템( MES )が必要とする共通intaferesを提供する。materiaral搬送および格納装置の構造totrackingを支援するintafeーsの一部は, CIMFremeworkの装置트락킹・멘테난스콘포넨트가担当する。それラインタフェースは，本スタンダードに記述した搬送マシンおよび格納マシンのinta훼이스を補間수。
Materiaral搬送・格納コンポーネントの範囲には, 下記のintafeースが含まれる.
- 特定場所へのmateriaral搬送に要する時間を予測して，materiaral搬送のskakeju-ringおよび処理を支援する。注：配送時間予測のためのイntafeversは，本暫定stanndaredに注記したように，まだ決定していない部分として今後の活動を必要としている.
- Materiaルを特定の場所に移動する搬送ジョブを実行し，監視する.
- JOBSに必要なmateriaral移動リソースは十分であるか。
Automatic MateriarhandringSystem( AMHS )は，どの半導体工場でも重要な部分であり，通常実施されていて，別個の論理ソftwea要素として製造管理system( MES )to 統合されている。 AMHS 는, AMHSFlemwork, AMHS 전용 시스템 콘트로라(소후트 웨아) および搬送, 格納マシン(하드 웨아)에서 성공을 거둘 수 있습니다.ボックス」とみなす.このsystemへのintaferesは目に見えるが，そのsystem内部の動きやcontroールはAMHSsapriyaの責任であって，MESの領域ではない。 넨트( MTSC )をMES 레벌 로 AMHS機能와 인타페스로規定している.
참조된 SEMI 표준SEMI E81 — CIM 프레임워크 도메인 아키텍처에 대한 임시 사양
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