SEMI E101 - EFEM 모델 가이드 -

Abstract

本standaredは， Global Physical Interfaces and Carriers Committee で技術的に承認されている。現版は2010年4月30日， Global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 2010 年6 月にwww.semi .org 에서는 2000 년 2 월 행, 이전은 2004년 11 월 행입니다.

 

300mm 世代の半導体工場において，生産性の向上は最優先すべき課題であり，これを実現するためにはコンピュータを組み込んだ製造技術mataは工場自動化(CIM/FA: 컴퓨터 통합 제조 또는 공장 자동화 ) 技術がますます重要となってきている。少ない費用で短期間にCIM/FAInFrastraracchaを装備するためには，かかる技術の標準化も必要である｡各standaredは広範囲の生産設備，通信機器 およびソftwea装置を網羅する必要があるため，各standaredには高度の互換性を持たせることが非常に重要である｡機能を向上させるた，本gaidが,工場のmaterialhandringsystemto製造装置間のintafeースにおいてCalia および基板の搬送処理を行う装置frontendmodule( EFEM: Equipment Front End Module )の機能構造modelerを示す.

참조된 SEMI 표준

SEMI E1.9 — 300mm 웨이퍼를 운반하고 보관하는 데 사용되는 카세트의 기계적 사양
SEMI E15 — 공구 로드 포트 사양
SEMI E15.1 — 300mm 공구 로드 포트 사양
SEMI E19 — SMIF(표준 기계 인터페이스)
SEMI E23 — 카세트 전송 병렬 I/O 인터페이스 사양
SEMI E47.1 — 300mm 웨이퍼 운송 및 보관에 사용되는 FOUPS의 기계적 사양
SEMI E57 — 300mm 웨이퍼 캐리어를 정렬하고 지지하는 데 사용되는 키네마틱 커플링의 기계적 사양
SEMI E64 — SEMI E15.1 도킹 인터페이스 포트에 대한 300mm 카트 사양
SEMI E84 — 향상된 캐리어 핸드오프 병렬 I/O 인터페이스 사양

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