E10000 - SEMI E100 - 6인치는 230 mm의 레치크루의 구조에 사용 가능한 레치크루SMIF폿드(RSP)의 구조

SEMI E100 - 6인치는 230 mm의 레치크루의 구조에 사용 가능한 레치크루SMIF폿드(RSP)의 구조 -

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Volume(s): Equipment Automation Hardware / Microlithography
Language: Japanese

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개정: SEMI E100-1104(0710 재승인) - 비활성

개정

Abstract

本standaredは， Global Physical Interfaces and Carriers Committee で技術的に承認されている。現版は2010年4月30日， Global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 2010 年6 月にwww.semi .org 에서는 2000 년 2 월 행, 이전은 2004년 11 월 행입니다.

 

本standardは，レチクル(포트마스크)あるいは集積回路（IC ）製造施設において、6인치마타は230 mmのレチクルを搬送および保管するに用いられるレチクルSMIF POD ( RSP )について規定する.

참조된 SEMI 표준

SEMI E1.9 — 300mm 웨이퍼를 운반하고 보관하는 데 사용되는 카세트의 기계적 사양
SEMI E19.4 - 200mm SMIF(표준 기계 인터페이스)
SEMI E30.1 — 특정 장비 모델 검사 및 검토(ISEM)
SEMI E47.1 — 300mm 웨이퍼 운송 및 보관에 사용되는 FOUPS의 기계적 사양
SEMI E57 — 300mm 웨이퍼 캐리어를 정렬하고 지지하는 데 사용되는 키네마틱 커플링의 기계적 사양
SEMI P5 — 펠리클 사양

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