SEMI E99 - 칼리아ID리다/라이타機能스탄다드：콘셉트，挙動，および書-bissに関する仕様 -

Abstract

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반 スタンダード スタンダード 日本語 スタンダード 版 を ご ご 利用 にあたって にあたって の の 注釈 を 本文 本文 の 末尾 に 記載 記載 し て おり ます ます ます ます 「す べき べき である である」 「し なければなら ない」について 等。。。。。

캘리아 ID 리다다／라이타機能스탄다드작성 の目的は캘리아ID리다および캘리아ID리다／라이타가상위콘트로라니提供するコンセプト，挙動，およびサーbis（機能）に関する共通仕様を提供する ことである.standardintaferesはccariaID 리다/라이타노互換性を上げるので，ユーザおよび装置sapraidoの選択の範囲が広がることになる.

칼리아 아이디 리다/라이타인타페스스탄다두하상체콘트로라を持っている包括的ナカリアID리다/라이타인타페르스に関する機能的な要求条件を扱う.

本仕様にはキャリアIDRI ーDAおよびキャリアIDRI ーDA／ライタの両方に要求される挙動および通信が含まれる.

本仕様ではカリアIDRIーDAあるいはリーダ／ライタが送信する 非同期メッセージを要求，定義，あるいは禁止しない。

하위 표준 (포함)

SEMI E99-1104(재승인 0710) — 캘리아 ID 리다/라이타 모델의 SECS-I 또는 SECS-II 프로토코르셋

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

SEMI E1.9 — 300mm 웨이퍼를 운반하고 보관하는 데 사용되는 카세트의 기계적 사양

SEMI E15 — 공구 로드 포트 사양

SEMI E30 — 제조 장비(GEM)의 통신 및 제어를 위한 일반 모델

SEMI E39 — 개체 서비스 표준: 개념, 동작 및 서비스

SEMI E47.1 — 300mm 웨이퍼를 운송하고 보관하는 데 사용되는 박스 및 포드의 기계적 사양

SEMI E62 — 300mm FIMS(Front-Opening Interface Mechanical Standard) 사양

SEMI E87 — 캐리어 관리(CMS) 사양

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