SEMI E98 - 오브제크트베이스 모델(OBEM) 사양 스탠다드 -

Abstract

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참고: SEMI E98은, SEMI E98.1 의 改訂を反映して, 0309 의 出版西クルで更新された입니다.

오브젝트 베이스 모델( OBEM )の目的は，次の事項を含む：

多重proses装置および他の複合装置へのintafeースについての標準moderを定義する

통신이 コンポーネントに関する事項を「検討」できるように，標準装置を定義する.

装置modelerが， OBEM適合装置を機械OBJェクトに接続する ことにより，SEMI E81 CIM構成systemに容易に統合で きるように対応する。

OBEM （OBEM ）standardの目的は，装置自体を含み，通常，装置を構成する物理的および論理的OBJECTOの共通に見られるtypeの定義，서비스，および挙動を，팍트리토노통신노운に見られる通りに提供する ことである。standadeード化されたOBJECTの定義を使って装置はその構成を工場側に対して開示でき，工場側は装置の内部が見えるようになる.

本規定は暫定standadeであり，半導体工場内の製造装置の統合を実現するための概念，挙動，および書-bisを定義するものでもる。本standadeーの範囲には工場hostsystemへのintafestを提供する半導體製造装置，すべてが含まれる。서비스によっては材料搬送系に適用で きない場合もある.

OBEM仕様を暫定版でなくするためには，以下の項目を完成しなければならない.

1. § 11.2 — 액세스 관리

§ 14 — OBEMへの準拠

詳細nastandadedも将来追加する予定で, SECS-II , CORBA IDL およびDCOMのような異なる製品に対するOBEMマッpingを規定する.

하위 표준:

SEMI E98.1-1102(재승인 0309) - 오브제크트기지盤装置modelnotume의 SECS-IIprotコル用暫定仕様

참조된 SEMI 표준

SEMI E5 — SEMI 장비 통신 표준 2 메시지 내용(SECS-II)
SEMI E10 — 장비 신뢰성, 가용성 및 유지보수성(RAM)의 정의 및 측정을 위한 표준
SEMI E15 — 공구 로드 포트 사양
SEMI E15.1 — 300mm 공구 로드 포트에 대한 임시 사양
SEMI E30 — 제조 장비(GEM)의 통신 및 제어를 위한 일반 모델
SEMI E39 — 개체 서비스 표준: 개념, 동작 및 서비스
SEMI E40 — 공정 관리 표준
SEMI E41 — 예외 관리(EM) 표준

SEMI E42 — 레시피 관리 표준: 개념, 동작 및 메시지 서비스
SEMI E53 — 이벤트 보고
SEMI E54 - 센서/액추에이터 네트워크 표준
SEMI E58 — ARAMS(Automated Reliability, Availability, and Maintenanceability Standard): 개념, 동작 및 서비스
SEMI E81 — CIM 프레임워크 도메인 아키텍처에 대한 임시 사양
SEMI E87 — 캐리어 관리(CMS) 사양
SEMI E90 — 기판 추적 사양
SEMI E94 — 제어 작업 관리 사양

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