SEMI E89 - 확정 시스템 분할(MSA) 가이드 -

Abstract

本版は2012年12 月20日，global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 2013年3 月にwww.semiviews. org およびwww.semi.org 에서는 1999년 9 월 9일 전행 . 2007년 7 월 9일.

　

注意: 本文書は，編集上の修正を伴い，再承認された。

　

本gaidの目的は，一連の一貫した用語を提示し，測定system分析（MSA : 측정 시스템 분석）の計画および実施に対する簡略化した推定的実験的アプローチについて記述することにある.

　

MSA의 특징 은 MS(MS )의 특성을 특정하게 하는 것입니다.

　

MS의 크기, およびすべての変動性の変動性のソースを正確に特定により, そのMS가 意図した機能を実行する能力があるかどうかを決定できる。に，よく設計されたMSA を使用して最も改善が必要な領域を特定し，定量化できる。

　

本gaidは, MS の能力の特定の尺度を決定するための手順を記載し，次の項目を含む。

• 次の項目を含むさまざまな条件における測定の変動性（つmari，繰返し精度）

• 繰返し精度の影響
• 로드，안로드状態
• 時間

• 偏りおよび偏りに関連する次の項目を含む

• 선형성
• 안정성
• 適合許容公差

本gaidは，測定精度と許容範囲の比率（ P/T ）や信号対雑音比（ SN 比）等の二次的測定基準についても記載する.

　

本gaidの第一の焦点は，通常の操業状態での自動Weーハ測定Systemの測定能力に関するものであるが，定義や方法は，処理されたダイス，팍케이지화され타데바이스,후랏트파넬디스플레이,부품等のユnitt自動測定に関わるその他の多くの測定状況にも拡張できる.

　

MSA의 실행에 については一般に受け入れられる正しい方法はないが,本説明するアプローチは技術資料（§11を参）에によってさポートされ, ISO 5725-2 를 사용하면 가능합니다. 記載さに対して機能しなければならない基準となる基本的な方法について記載する.特定の環境においては，他の方法が適切であることもある.

　

非시스템적(つまりランダムな)誤差のさまざまなソースを分離する ことを意図した本gaidの手順は，要因分析および分散分析（ ANOVA ）に基づいている。本gaidの第一日の焦点は自動MS の評価であるため，異なる오페레이타によって持ち込まれる変動は最小であると予測する.

　

참조된 SEMI 표준

없음.

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