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SEMI E83 - PGV 메카니카르독킹후란지 사양 -
Abstract
免責事項： このSEMIstandadeは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡
반 スタンダード スタンダード 日本語 スタンダード 版 を ご ご 利用 にあたって にあたって の の 注釈 を 本文 本文 の 末尾 に 記載 記載 し て おり ます ます ます ます 「す べき べき である である」 「し なければなら ない」について 等。。。。。
실제 인터페이스 및 캐리어 글로벌 기술 위원회(Physical Interfaces & Carriers Global Technical Committee ) で技術的に承認されている.現版は2014年5月12日， global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2014年7月にwww. semiviews.org 는 www.semi.org를 통해 1999 년 6월 2013 년 4월 2013년 4월 9월 2013 년 4 월 9월 2013년 4월
これは，パーソンガイデッドビークル（ PGV ）와 ロードポートを有する装置間のintaferesの互換性をさらに推進するものである.
本仕様は， PGVに使用されるdockingフランジの静止（装置）側の機械的仕様を規定する.内で床に取り付けられる。これらの標準は, 다음은 SEMI E15.1, SEMI G82로드포트 ( 300mm용) およびSEMI 154 ( 450mm 웨하카리아용)의 SEMI E64 의 排除領域입니다.
참조된 SEMI 표준
SEMI E15 — 공구 로드 포트 사양
SEMI E15.1 — 300mm 공구 로드 포트 사양
SEMI E64 — SEMI E15.1 도킹 인터페이스 포트에 대한 300mm 카트 사양
SEMI E154 — 450mm 로드 포트에 대한 기계적 인터페이스 사양
SEMI G82 — 백엔드 프로세스의 프레임 카세트용 300mm 로드 포트에 대한 임시 사양
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