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SEMI E82 - 工程間／工程内AMHS SEMの仕様（IBSEM） -
Abstract
本standaredは， global Information & Control Technical Committee で技術的に承認されている。現版は2012年2月21日， global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2012年6月にwww.semiviews .orgおよびwww.semi.org 에서 1999년 11월 20일 이전 .
注意: 本文書は，編集上の修正を伴い，再承認された。
本standardは工程内AMHS搬送装置の個別装置modelel（SEM）を確立するものである（IBSEM）。modelは装置特性および動作で構成されており,それらはSEMI E30の基本要求および追加選択性能と共に実装される予定である.本standadeの趣旨は自動化された（半導体製造 およびフラットパネルディスプレイなど）工場へのIBSEM準拠の搬送装置の統合を容易にする ことである.本文書では工場자동화콘트로라(호스트) から見たIBSEM準拠の搬送装置の運用moderrを定義して趣旨を実現している. （콘트로르，状態model，データ報告，報告レベルなど）가정의され ている.本standardの範疇の課題のいくつかに関しては今後も活動を続ける必要がある。その課題와 はtrafick管理特性（큐ーing), Calia移載 の ための パラレルインタフェース ( SEMI E23 ), 搬送시스템콘트로라아키테크챠, および搬送単位の配送などである.
本standadeの範囲は( §13に規定してある) GEMmodelに準拠する SEMI装置通信standard2( SECS-II )によってホストが認識する 공방, 공방内AMHS搬送装置（ OHT , OHS , RGT , AGT ， DWC ）の使用法および説明に限定されている.本standaredはSECS通信rinkを通じて搬送装置がどのように見えるかを定義しているが，搬送装置の内部 オ ペレーションは定義していない。 ここにはこのクラスの搬送装置すべての基準として個別TRANSFER코만드状態모델 および搬送装置側시스템콘트로라状態모델르が含まれている.
本文書では（ §13に規定されている） GEM基本要求および追加選択性能はIBSEM準拠の搬送装置にすでに実装されているものとみなす。 ここでは状態모델 ），収集 イvent，Aramーd큐먼트，리모트코만드，変数데이타아이템，および材料搬送の領域でGEMstandard要求および性能が拡張されている。
참조된 SEMI 표준 SEMI E4 — SEMI 장비 통신 표준 1 메시지 전송(SECS-I)
SEMI E5 — SEMI 장비 통신 표준 2 메시지 내용(SECS-II)
SEMI E23 — 카세트 전송 병렬 I/O 인터페이스 사양
SEMI E30 — 제조 장비(GEM)의 통신 및 제어를 위한 일반 모델
SEMI E32 — 자재 이동 관리(MMM)
SEMI E37 — 고속 SECS 메시지 서비스(HSMS) 일반 서비스
SEMI E84 — 향상된 캐리어 핸드오프 병렬 I/O 인터페이스 사양
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