SEMI E74 - 비공폰프노인타페스노후 － 타보모레큐라폰프 -

Abstract

알림: 이 번역본은 참조용 사본입니다. 영어 버전과 다른 언어로 된 번역본 사이에 차이가 있는 경우 영어 버전이 공식적이고 권위 있는 버전입니다.

免責 ： ： 事項 반 スタンダード スタンダード は は は は 投票 により 作成 作成 さ さ さ れ た た 英語 版 版 が 正式 な もの であり であり であり 日本 語 語 版 版 は は 日本 日本 の 利用 者 各位 各位 の 便宜 の に 作成 し た もの もの です です。 が が が 一 一 英語 と 日本 が が が が が が が が が 語 日本 日本 日本 日本 日本 し し し し し し し し し し し し し し し し た もの もの です。 万 が が ∎ある場合には英語版記載内容が優先されます｡

반 スタンダード スタンダード 日本語 スタンダード 版 を ご ご 利用 にあたって にあたって の の 注釈 を 本文 本文 の 末尾 に 記載 記載 し て おり ます ます ます ます 「す べき べき である である」 「し なければなら ない」について 等。。。。。

 

本standaredは， Physical Interfaces & Carriers Global Technical Committee .で技術的に承認されている。現版は2012年12月20日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2013年4月にwww .semiviews.org および www.semi.org 에서 入手可能로 .

　

알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.

　

本standadard は, ta-bomoreecura-ponp(TMP) type の 真空ponp に関する 物理的 および電気的intafestを規定する。ponpのintafeースを標準化する ことによって，ポンプに互換性を持たせることができる。데바이스메이커はproses装置半導体proses装置sapriyaヤも，ponpsapraiyyに対して標準化されたintaferesを指定する目的で，本文書を使用用する。

 

本standardは, 300mm半導체 프로세스装置に提供される真空ポンプに適用される.

　

本standard は，以下のターボモレキュラーポンプの機械的および電気的Intafeースを規定する： •機械的コネクタと位置•制御信号to コネ

ク

タ

• 전기토코넥타

　

참조된 SEMI 표준

SEMI S2 — 반도체 제조 장비에 대한 환경, 건강 및 안전 가이드라인

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