SEMI E63 - 300 mm박스오프나/로다와 장갑의 스탄다드(BOLTS-M)인타페스의 기계 부품 -

Abstract

本standanardは， global Physical Interfaces & Carriers Committee で技術的に承認されている。現版は2010年8月27日， global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 2010 年10 月にwww.semi .org에서 入手可能となる.

 

本standardは，proses装置matataは測定装置においてボックスを開け、300mm웨하노안로드 およびroードのためにウェーハンドラにWeーハを渡stataめ装置側の機械的Intafeースを規定する。ボックスオープナとローダー유닛트は1 つ以上の（SEMI E15.1に準拠した）LOARDPORTを有すると共に，空容器あるいは（装置のsruーputtを上げるための）待ちlott用の스톡카を有する こともある. 복스오프나/로다유닛트は（ SEMI E47 .1, SEMI E62에 포함된) 박스가 있는 폿드를 저장하는 것( SEMI E1.9에 포함된) 오픈카셋트를 포함합니다.に캐리아容量（ 13枚と25 枚の）をひとつのインタフェース規格によって規定する.

참조된 SEMI 표준

SEMI E1.9 — 300mm 웨이퍼를 운반하고 보관하는 데 사용되는 카세트의 기계적 사양
SEMI E15 — 공구 로드 포트 사양
SEMI E15.1 — 300mm 공구 로드 포트 사양
SEMI E19 — SMIF(표준 기계 인터페이스)
SEMI E47.1 — 300mm 웨이퍼 운송 및 보관에 사용되는 FOUPS의 기계적 사양
SEMI E57 — 300mm 웨이퍼 캐리어를 정렬하고 지지하는 데 사용되는 키네마틱 커플링의 기계적 사양
SEMI E62 — 300mm FIMS(Front-Opening Interface Mechanical Standard) 사양

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