E06200 - SEMI E62 - 300 mm전면 개폐・메카니카루인타페스(FIMS) 사양

SEMI E62 - 300 mm전면 개폐・메카니카루인타페스(FIMS) 사양 -

Member Price: ₩135
Non-Member Price: ₩347,000

Volume(s): Equipment Automation Hardware
Language: Japanese

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Type: Single Standards Download (.pdf)

개정: SEMI E62-1106(0512 재승인) - 비활성

개정

Abstract

本版は2011年12 月24日， global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2012年5月にwww. semiviews.org 는 www.semi.org에서 1997년 11월 20일 이전에 2006년 11월 11일에 진행되었습니다.

　

注意: 本文書は，編集上の修正を伴い，再承認された。

　

本standardは，proses装置matataは測定装置とFrontop-ning・boxstoのintafeースについて装置側の要求事項について規定する.

　

本standardが意図しているのは，すべてのメカニカルインタフェースにおいて，모쥬르성토互換性を確保しながら，技術革新を妨げないよう最小レベルの仕様を定める ことである.物理的intafeースだけが規定されており，材料に対する要求事項やparteycrunaどの汚染限度は示されていない.本standadedに規定されたintafeースは，密閉されたminienbairoment用途を意図しているが，単にうまく設計されta자동화인타페스데あるとの解釈でも構わない。

참조된 SEMI 표준

SEMI E1.9 — 300mm 웨이퍼를 운반하고 보관하는 데 사용되는 카세트의 기계적 사양
SEMI E15 — 공구 로드 포트 사양
SEMI E19 — SMIF(표준 기계 인터페이스)
SEMI E47.1 — 300mm 웨이퍼를 운반하고 보관하는 데 사용되는 박스 및 포드의 기계적 사양
SEMI E57 — 300mm 웨이퍼 캐리어를 정렬하고 지지하는 데 사용되는 키네마틱 커플링의 기계적 사양
SEMI M31 — 300mm 웨이퍼 운송 및 배송에 사용되는 전면 개방 배송 상자의 기계적 사양

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