SEMI E57 - 300mm 웨하카리아의 전신 작업에 유용한 도구를 사용하기 위한 키네마틱 카프링의 기술 -

Name: E05700 - SEMI E57 - 300mm 웨하카리아의 전신 작업에 유용한 도구를 사용하기 위한 키네마틱 카프링의 기술
Brand: semi.org
SKU: 3838
Price: 285000.0 KRW
Availability: InStock

Member Price: ₩135

Non-Member Price: ₩285,000

Volume(s): Equipment Automation Hardware
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정:

SEMI E57-0600(재승인 1110) - 대체됨

품목 옵션

Abstract

本standanardは， global Physical Interfaces & Carriers Committee で技術的に承認されている。現版は2010年8月27日， global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 2010 年10 月にwww.semi .org에서 入手可能となる。

本standardは, 300mm 径we-hakaria(搬送用카셋트,프로세스카셋트,쿠오트보트,포드,롯트박스,식핑박스を含む)を人間工学的に設置し，正確に支持するのに使用される，自動位置決め機構であるキネマティックカプリングを規定する.

· 복스마타하카셋트와 로드포트마타는 搬送装置와 の間

· 액션카세트와 박스토노즈

· 프로세스카셋트마타보드보트와 프로세스첸바의 가게면과의 間

참조된 SEMI 표준

SEMI E15 — 공구 로드 포트 사양
SEMI E19 — SMIF(표준 기계 인터페이스)
SEMI E19.4 - 200mm SMIF(표준 기계 인터페이스)

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SEMI E57 - 300mm 웨하카리아의 전신 작업에 유용한 도구를 사용하기 위한 키네마틱 카프링의 기술 -

本standardは, 300mm 径we-hakaria(搬送用카셋트,프로세스카셋트,쿠오트보트,포드,롯트박스,식핑박스を含む)を人間工学的に設置し，正確に支持するのに使用される，自動位置決め機構であるキネマティックカプリングを規定する.

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