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SEMI E54.17 - A-LINK에 대응하는 센서/아크츄에이타넷트워크의 정의 -
Abstract
本standaredは, global Information & Control Technical Committee で技術的に承認されている。現版は2011年9 月12日, global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2011年12にwww.semiviews .org およびwww.semi.org 에서 2005년 7 월 행사 를 시작하세요.
참고: 本文書는 SEMI E54一連의 스탄다드를 として出版されず,単独で発行および販売される.
注意: 本文書は,編集上の修正を伴い再承認された。
本文書は半導体製造装置に装備されるsenssa/アクチュエータネットwork(SAN)上のSEMI E54のデバイスモデルに従って動作する インテリジェントなデバイス間の通信を可能とするA- LINKproto コルに基づいた通信の規定を定めるものである。
本文書はSEMI E54の共通/特定デバイスモデルに基づいたある.
참조된 SEMI 표준 SEMI E39 — 개체 서비스 표준: 개념, 동작 및 서비스
SEMI E54.1 — 센서/액추에이터 네트워크 공통 장치 모델 표준
SEMI E54.3 — 질량 흐름 장치용 센서/액추에이터 네트워크 특정 장치 모델 사양
SEMI E54.10 — 현장 입자 모니터 장치용 센서/액추에이터 네트워크 특정 장치 모델 사양
SEMI E54.11 — 엔드포인트 장치용 특정 장치 모델
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