SEMI E54.16 - LonWorks용 센서/액추에이터 네트워크 통신 사양 -

Abstract

이 표준은 글로벌 정보 및 제어 기술 위원회에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2011년 9월 12일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2011년 12월 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 원래 2005년 7월에 출판되었습니다. 이전에 출판된 2006년 11월.

알림: 이 문서는 더 이상 SEMI E54 표준 세트와 함께 발행되지 않습니다. 9월에 출판되고 판매됩니다.

 

이 사양은 SEMI 지정 장치 모델(공통 및 장치 특정) 반도체 제조 장비에.

 

이 문서는 LonWorks 장치용으로 설정된 LonMark 상호 운용성 지침을 사용하여 LonWorks 기술에 대한 SEMI 공통 장치 모델(CDM)의 매핑을 지정합니다. LonMark 국제 협회는 이 네트워크 통신 문서에 제시된 향상된 SEMI LonMark 기능 프로필을 검토 및 승인하고 필요한 SEMI 프로필을 LonMark 상호 운용성 지침에 통합합니다.

 

배경 및 동기 — LonWorks 통신 시스템은 센서, 액추에이터 및 컨트롤러와 같은 스마트 제어 장치의 상호 연결을 빠른 응답 시간, 저비용 산업용 네트워크로 제공합니다. LonWorks 를 사용하면 여러 장치가 단일 네트워크를 공유할 수 있으므로 컨트롤러, 센서 및 액추에이터 간의 지점 간 배선이 크게 줄어듭니다. LonWorks 네트워크 통신 표준(NCS)은 7계층 ANSI/EIA/CEA 709.1(LonWorks ) 프로토콜을 기반으로 하며 Neuron Chip, 물리적 계층 트랜시버 및 선택적 호스트 프로세서로 구현됩니다. ANSI/EIA/CEA 709.1(LonWorks) 제어 네트워킹 프로토콜은 Echelon에서 개발했으며 모든 하드웨어 플랫폼에서 구현하기 위해 자유롭게 라이선스를 받을 수 있습니다. LonWorks용 SEMI NCS는 LonMark 상호 운용성 지침을 기반으로 하며, 이는 애플리케이션 계층뿐만 아니라 계층 1~6에서 ANSI/EIA/CEA 709.1(LonWorks ) 프로토콜의 상호 운용 가능한 사용을 위한 프레임워크를 제공합니다. LonMark 상호 운용성 지침이 SEMI CDM 및 SEMI 특정 장치 모델(SDM)에서 요구하는 기능을 제공하지 않는 경우 지침은 SEMI 고유의 향상된 프로필 요구 사항으로 확장됩니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI E30 — SEMI 장비(GEM)의 통신 및 제어를 위한 일반 모델

SEMI E39 — 개체 서비스 표준: 개념, 동작 및 서비스

SEMI E54 - 센서/액추에이터 네트워크 표준

SEMI E54.1 — 센서/액추에이터 네트워크 공통 장치 모델 표준

SEMI E54.3 — 질량 흐름 장치용 센서/액추에이터 네트워크 특정 장치 모델 사양

SEMI E54.10 — 현장 입자 모니터 장치용 센서/액추에이터 네트워크 특정 장치 모델 사양

SEMI E54.11 — 엔드포인트 장치에 대한 센서/액추에이터 특정 장치 모델 사양

SEMI E54.18 - 진공 펌프 장치용 센서/액추에이터 네트워크 특정 장치 모델 사양

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